| 采用PDMS芯模微电铸成形镍微齿轮 |
| |
| 引用本文： | 周波,吴有智,苏博,孟军虎,韩杰胜,张兴凯.采用PDMS芯模微电铸成形镍微齿轮[J].中国科学:信息科学,2019(2). |
| |
| 作者姓名： | 周波 吴有智 苏博 孟军虎 韩杰胜 张兴凯 |
| |
| 作者单位： | 兰州理工大学材料科学与工程学院;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 |
| |
| 摘 要： | 以Φ3.60 mm×0.18 mm的微齿轮作为模板,先用软刻蚀技术制备聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性模具,通过将PDMS模具黏附在石墨基片上与在PDMS模具表面喷金制备成两种不同的芯模,再采用微电铸技术成形镍微齿轮.通过对在两种不同芯模上制备的镍微齿轮的结构完整性、铸层的生长方式和物相组成进行对比,分析芯模对微电铸成形的影响.结果表明:表面喷金的PDMS芯模可以精确复制微齿轮模板的微结构.相比于在喷金的PDMS芯模上微齿轮的逐层生长,在石墨基片上微齿轮是以外延的方式生长,在微齿轮中易产生裂纹等缺陷.两种芯模上制备的镍微齿轮晶粒尺寸基本相同,但相比于将PDMS模具黏附在石墨基片上制成的芯模,在喷金的PDMS芯模上成形的镍微齿轮(200)晶面择优取向增强,(111)晶面择优取向减弱,且残余应力更小.
|
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
