高精度表面粗糙度非接触式轮廓仪

提出了一种高精度表面粗糙度非接触式轮廓仪.该仪器在6JA干涉显微镜的基础上,采用相移干涉技术、外同步技术和有效算法,以消除背景光强不均匀、人眼瞄准误差、数值孔径等因素的影响,并在条纹对比度很低的情况下也能获得良好的结果.实验结果表明,测量精度比原仪器提高10倍,测量时间仅需3s,垂直分辨率和重复测量精度优于1nm.     

条纹扫描干涉术中白光的影响

在条纹扫描干涉中，白光光谱分布引起的测量误差是一种原理误差，本文阐述了产生这种误差的原因，并给出了模拟计算的结果，结果显示这一误差大于２０％，该误差不能忽略，必须加以补偿，文中给出了一个补偿系数Ｃ。     

散斑照像计量中点信息分布的统计模型

本文将散斑照像计量分为信息的记录、表征和识别三个过程进行描述。在此基础上,论述了待计量信息在统计意义上表征在计量场中以及信息的识别是从单一计量场中获取统计平均信息的过程。进而,用统计学方法建立了逐点滤波技术所给点信息分布的统计模型,从中导出了测量灵敏度和范围。本文的工作为散斑照像中逐点滤波技术提供了一种新的理论描述,同时也为计量信息的自动识别提供了更切实际的模型。     

等厚干涉条纹的数据处理

讨论等厚干涉条纹的数据处理方法,对一元线性回归和非线性优化方法进行比较,得到非一性优化方法明显优于一元线性回归的结论,非线性优化方法对干涉条纹数较少的情况尤为适用。     

相干光微分处理的原理和实验

本文阐述了光学信息处理技术中的一项基本处理方法——光学微分处理。文中着重从数学上论证图象的相干光微分处理原理,以及微分滤波器函数的综合和定位精度问题。 最后,还介绍了作者进行图象微分处理实验所采用的两种实验方法、装置、参数以及得出的实验结果等等。