| 高精度表面粗糙度非接触式轮廓仪 |
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| 引用本文： | 刘冲,李柱,陈家壁.高精度表面粗糙度非接触式轮廓仪[J].华中科技大学学报(自然科学版),1993(4). |
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| 作者姓名： | 刘冲 李柱 陈家壁 |
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| 作者单位： | 华中理工大学测试技术与科学仪器研究中心
(刘冲，李柱)，南京师范大学(陈家壁) |
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| 摘 要： | 提出了一种高精度表面粗糙度非接触式轮廓仪.该仪器在6JA干涉显微镜的基础上,采用相移干涉技术、外同步技术和有效算法,以消除背景光强不均匀、人眼瞄准误差、数值孔径等因素的影响,并在条纹对比度很低的情况下也能获得良好的结果.实验结果表明,测量精度比原仪器提高10倍,测量时间仅需3s,垂直分辨率和重复测量精度优于1nm.
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| 关 键 词： | 表面粗糙度 相移干涉 锯齿波调制 外同步控制 |
A Non-Contact Surface Profiler for Surface Roughness Measurement with High Precision |
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| Liu Chong Li Zhu Chen Jiabi.A Non-Contact Surface Profiler for Surface Roughness Measurement with High Precision[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,1993(4). |
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| Authors: | Liu Chong Li Zhu Chen Jiabi |
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| Institution: | Liu Chong Li Zhu Chen Jiabi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface roughness phase shift interferometry sawtooth wave modulation external synchro control |
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