用背散射方法研究砷离子注入单晶硅的分布和热退火后的再分布

与注磷相比,五价的砷元素作为施主杂质注入半导体材料硅中,具有许多独特的优点:(1)固溶度高;(2)投影射程小,可以得到较浅的p-n结;(3)有可能通过人为控制,使砷扩散后的浓度分布趋于对发射极有利的矩形分布;(4)引起的损伤较浅,只要适     

离子注入多晶Si浅结工艺在双极集成电路中的应用

本文用背散射技术、霍尔效应和X光衍射法测量As离子注入多晶Si浅结工艺在制备D.I2902电路中的基本参数:As在多晶Si中的扩散系数、电阻率、迁移率和晶粒大小。对影响电路参数的多晶Si与单晶Si之间的界面氧化层、多晶Si厚度和晶粒大小作了较详细的分析,指出极薄界面氧化层的存在影响As从多晶Si向单晶Si的扩散,也有利于发射效率的提高。最后给出D.I2902电路的工艺流程和基本电参数。     

整体平行束X光透镜及其在X射线衍射技术中的应用

使用整体平行束Ｘ光透镜和准直管在Ｓｉ（１１１）晶体上进行Ｃｕ－Ｋα辐射的衍射实验,实验结果表明：在相同Ｘ光源功率条件下,使用整体平行束Ｘ光透镜比使用准直管测量的衍射峰强度提高了近４倍。     

弯曲导管对“水窗”波段及高能端附近X光的响应

通过弯曲导变对“水窗”波段及其高能端附近X光响应的计算及测量，表明,圆弧弯曲导管束能够对X光在“水窗”段有较大传输响应，而对“水窗”之外的高能X光响应较小，研究表明，X光在“水窗”段的响应是“水窗”之外的高能X光响应的5倍，这种弯导管有可能用于同步辐射中，“过滤”掉白光高能部分，而直接输出较强的“水窗”段X光。     

X光透镜应用于蛋白大分子晶体衍射

Ｘ光透镜能以较大的收集角收集Ｘ光，并以准平行光出射。Ｘ光透镜应用于生物蛋白大人子晶体衍射，替代单色仪双聚集镜，照射晶体样样品的光强度数倍乃至１到２个数量级，衍射强度的提高远于５倍，大大缩短了测试时间，分辨能力改善０．０２－０．０５ｎｍ，衍射数据的收集质量有较为明显的提高。     

X射线光学的新成就--X光透镜及其应用

介绍了北京师范大学X光学实验室的X光透镜及其在X光分析领域中应用的成果.X光透镜由X光导管组合而成,它能聚集X光源产生的发散X光并形成高功率密度的会聚和平行X光束,从而成为宽波段X光束调控手段.