红外微腔探测器中金属支撑柱的制备工艺研究

基于一般正胶光刻工艺的剥离工艺,所需胶膜的厚度要大大超过剥离薄膜的厚度,这样在剥离线宽小、厚度大的微腔结构探测器的金属互连柱图形时就会存在光刻分辨率低、剥离难的问题.本文重点研究了基于AZ5214E光刻胶图像反转性能的剥离工艺,对图像反转光刻所特有的反转烘、掩模曝光、泛曝光工艺条件进行了详细的对比实验.结果表明:当反转烘温度为96～98℃,第一次掩模曝光时间和泛曝光时间分别为8.1 s、8.4 s时,可以得到较好的光刻图形.通过电子束蒸发Ti,成功剥离出高2.40μm、面积3.0 μm×3.0 μm的Ti微互连柱.此工艺的优点在于分辨率高,胶膜与剥离薄膜的厚度比接近1时,也能剥离出所要图形,可以用于制备MEMS微腔器件中的微互连柱.     

混凝土收缩徐变对高层混合结构的影响及对策

针对高层混合结构竖向变形差的计算与工程对策问题进行了研究.首先,给出了超高层混合结构竖向变形差的计算方法.在结构分析中,采用刚度逐层形成、荷载逐层施加的方法考虑施工过程的影响;根据ACI规范混凝土徐变收缩计算公式,假设构件荷载线性增加,引入平均龄期影响系数和平均持荷影响系数计算变荷载作用下混凝土的徐变和收缩.用龄期调整的有效模量法分析了构件配筋率对构件徐变的影响.分析中还考虑了核心筒超前施工的影响.然后,通过算例分析,给出了减小混合结构竖向变形差的工程对策.该法简单实用,可以在超高层混合结构设计中计算竖向变形差时使用.     

高层建筑模态抗震设计中的多模态静力推覆分析

将模态推覆分析方法与用自适应的加载方式相结合,提出了一种改进的多模态静力推覆分析方法.运用模态推覆分析将多自由度体系解耦成每阶模态对应的单自由度体系,对于每阶模态下的推覆分析,当结构进入塑性阶段后,采用自适应的加载方式,得到每阶模态下结构的反应.将结构推至每阶振型下的目标位移,采用SRSS组合的方式得到结构的响应.对应每阶振型下推覆分析的目标位移采用非弹性能力谱方法来计算.对不同高度的多高层钢框架-混凝土核心筒混合结构在8度罕遇地震下抗震性能进行了评估.结果显示,本文的静力推覆分析所得的结构响应同非线性动力时程分析所得的结果吻合较好.     

Optimization Design for Fixed Table of Gantry Machining Center Based on Sensitivity and Topology Analyses

In order to decrease the deformation and stress and increase the natural frequency of the fixed table,a method of optimization driven by the sensitivity and topology analyses is proposed.The finite element model of the fixed table is constructed and analyzed by using ANSYS software.Based on the results of static analysis and modal analysis,the maximum deformation,the maximum stress,and natural frequencies are obtained.Then,the sensitivity analysis and topology optimization are carried out to find out the parameters to be optimized.The fixed table is reconstructed according to optimal design scheme.In the comparison of the results between original model and the optimized one,the maximum deformation and stress are decreased by 71.73％ and 60.27％ respectively.At the same time,the natural frequencies from the first mode to the sixth mode are increased by 30.28％,29.57％,29.51％,31.52％,22.19％,and 21.80％,respectively.The method can provide technology guide for the design and optimization of machining structure.     

再测序DNA微阵列的等长变覆盖探针设计方法

针对再测序DNA微阵列的寡核苷酸探针设计,提出了2种等长变覆盖的方法: ①基于Tm距离的探针优化方法,从冗余探针集中逐步删除具有最大Tm距离的探针;②应用遗传算法,将候选探针集编码为染色体,通过选择、交叉和变异等遗传操作得到最大适应度的探针集.这2种方法,都能在探针长度相等的情况下,通过改变相邻探针之间的覆盖度使探针的Tm值尽可能保持一致.实验结果表明:等长变覆盖法得到的探针集整体优于等长移位法和变长变覆盖法的结果,具有更好的杂交条件一致性.     

基于振动的亚微米阵列薄膜弹性参数辨识

亚微米阵列薄膜是以微/纳米尺寸的管、柱、弹簧等为基本单元,在同一平面内周期排列构筑的薄膜结构(厚度100 nm–1?m).亚微米阵列薄膜是人工合成的新型材料,需要依靠实验、理论和数值分析技术得到材料参数.由于亚微米阵列薄膜的几何微尺度,其固有频率达到MHz量级.本文提出了一种基于激光技术的非接触式振动测试方法,由振动特性确定了亚微米阵列薄膜弹性参数.     

浅议我国现行增值税存在的问题及对策

我国的增值税在增加我国的财政收入,促进我国经济发展上曾经发挥了积极的作用.但是由于经济形势的发展变化及自身的不完善,显露出许多问题它不利于市场经济主体公平竞争, 制约了资本投资,免税产品的存在增加了企业的税赋,"以票管税"客观上为偷、骗增值税提供机会,容易形成地方保护主义且加重了农民负担,扩大了城乡之间的差距;建议对策是扩大增值税征收范围,实现增值税的转型,取消免税项目,改进增值税进项税抵扣方法,将中央与地方共享的增值税改为中央专享税目政府按一定的比例支付给农民增值税税收补偿.     

徐变效应的位移分析法

位移法分析超静定结构徐变效应的关键是求单元的徐变固端力.本文根据徐变分析的力法和虚功原理,推导出杆系结构一次加载的单元徐变固端力计算公式,发现单元的徐变固端力是杆件的徐变系数和弹性杆端力的函数。根据推导出的公式,用FORTRAN语言编制了结构徐变分析的位移法计算机程序,并对一个框架算例进行了徐变分析.结果表明,结构各部分的浇筑时间差和持荷时间对结构的受力和变形影响很大,在实际工程设计中不能忽略徐变对结构的影响.     

基于激光雷达的RTK-GPS动态性能评估

针对高精度全球定位系统(GPS)接收机动态性能测试问题,提出一种基于激光雷达的动态精度测试方法.在机器人运动过程中,采用基于路标的地图匹配算法实时获得机器人的位姿,从而评估实时运动学-全球定位系统(RTK-GPS)的动态定位精度.考虑到通信时延对定位精度的影响,提出了一种简易的时延补偿方法.实验结果证明:与传统的实验测量方法相比,该评估方法具有较高的精度和可靠性,且方便易行.     

支持向量机的算法研究

支持向量机(support vector machine,SVM)是20世纪90年代发展起来的一种新型机器学习方法,是在统计学习理论基础上发展起来的一种新的数据挖掘方法,已广泛应用于模式识别与回归分析。并已成为国际机器学习界的研究热点。本文主要讨论其基本原理与SVM训练算法。