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本文给出了低通、带通、带阻型 MOS 开关电容滤波器单片 IC 电路设计方法。并用通用电路分析程序进行了模拟分析。本文还提出了一种新型双层多晶 N 沟硅栅 E/DMOS 工艺,它能使电路设计有很大灵活性和高集成度。测试结果表明这种电路具有输出电压幅度大(≥14V_(P-P))、通带平坦、纹波小(≤0.1~0.2dB)、动态范围大(≥75dB)之特点。 相似文献
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一种基于UV LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持“开”或“关”态时不需要功耗,从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统(DMEMS),对开关的动态响应进行了测量.测量结果表明开关实现了双稳态驱动,开关实现状态完全切换到位对应的响应时间不到20 μs. 相似文献
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采用微电子加工工艺在高电阻率硅片上设计和制备了微小天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5 dBi,谐振频率约为3GHz,能够满足通讯系统中天线系统的要求,并且文章对天线的制作工艺进行了详细的介绍,此天线有利于天线集成和与CMOS工艺等的兼容. 相似文献
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多孔硅微机械技术的薄膜量热传感器结构研究 总被引:1,自引:0,他引:1
多孔硅的形成和刻蚀技术是一项新型的表面微机械加工技术,我们以多孔硅为牺牲层,利用多孔硅的选择性生长机理,以及利用在高阻衬底上横向形成速率大于纵向形成速率的特点,得到了距衬底很深的微桥、微梁、微沟道等微结构,并设计研制了一种绝热式量热传感器。 相似文献
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锁相环(PLL)在电子通信中得到了广泛的应用,并已成为频率合成、调制解调等领域的关键技术.随着近年来数字通信的兴起和集成电路的发展,数字锁相环(DPLL)正以其数字化、集成化和高频率的优势得到越来越广泛的应用.本文在对传统的一阶数字锁相环分析的基础上,提出了一种更为灵活的一阶数字锁相环的实现方法,并提高了性能,且易于用FPGA实现.最后,本文列举了该数字锁相环在上海市科委重点项目"微机电系统一微带天线与中继系统"中的应用,并收到了理想的效果. 相似文献