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41.
针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.  相似文献   
42.
无刷直流电机模糊控制系统的建模与仿真   总被引:13,自引:0,他引:13  
从无刷直流电机的基本原理出发,提出了无刷直流电机控制系统仿真建模的新方法.该方法在Mat-lab/Simulink中按功能进行模块化建模,用M文件来编写功能函数,实现了电流滞环和转速模糊控制的双闭环调速系统的仿真.利用该模型分析了电机的动静态性能,得到了电机运行时的反电动势、相电流、转矩和速度曲线,与一般比例积分与微分控制相比,系统响应时间缩短一半,且无超调,具有较强的鲁棒性和自适应能力.该模型准确易行,便于替换和修改,为今后分析该类电机和对其控制策略的研究提供了新的方法.  相似文献   
43.
从正常服役状态的角度,对粉煤灰混凝土的渗透性进行了试验研究.试验中以受压构件作为材料受力状态的模拟对象,考察了非破坏振动环境对粉煤灰混凝土渗透性能的影响规律,发现非破坏振动作用虽不引起材料宏观强度上的破坏,但将使混凝土的抗渗性能劣化,并且分析了混凝土抗渗性能劣化的原因.对比研究了不同粉煤灰掺量在非破坏振动环境中的抗渗效果,结果表明:在试验范围内,当粉煤灰掺量(粉煤灰质量/(水泥质量 粉煤灰质量))从10%增加至20%时,抗渗性能的提高比较显著,当粉煤灰掺量超过20%后,粉煤灰的增加对抗渗性能的提高作用减小;具备抗非破坏振动特性的高性能混凝土的粉煤灰掺量应该大于20%.  相似文献   
44.
磷钼杂多酸盐催化作用下的SBS环氧化反应   总被引:2,自引:0,他引:2  
用磷铝杂多酸盐为反应控制相转移催化剂,以30%H2O2为氧源,对SBS进行环氧化反应.实验表明:其适宜条件为反应时间2h,反应温度70℃,SBS溶液浓度为100g/L.n(磷钼酸盐):n(过氧化氢)=1.72,过氧化氢(相对于SBS)质量百分用量为27.2%,所得产物的环氧化程度最高为7.63%,催化剂可回收再利用.  相似文献   
45.
NaTaO3电子结构的第一性原理研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
在广义梯度近似 (GGA)下 ,利用全电势线性缀加平面波法 (FLAPW)计算了钽酸钠 (NaTaO3)的电子结构 .为了进一步理解原子间的相互作用 ;计算了NaTaO3的态密度、能带结构、电子密度 .通过对态密度的分析 ,发现在钽原子 3d电子和氧原子 2p电子之间存在强烈的轨道杂化 .对电子密度和能带的分析也得出同样的结论 .NaTaO3晶体中有两种电子相互作用 ,一种是钽原子和氧原子之间存在的共价相互作用 ,另一种是钠 (Na)和氧化钽 (TaO3)基团之间的离子相互作用  相似文献   
46.
以甘蓝(Brassiaca oleracea)为材料,取幼叶分离mRNA,反转录合成cDNA,以cDNA第一链为模板,通过PCR扩增,获得甘蓝磷酯酶D(Phosphorate Lipid Dehydrolase,PLD)HKD2功能区的基因片段.对其进行Blast分析,结果表明,分离的目的片段核苷酸序列与Genbank中报道的甘蓝PLD基因相比同源率为99.7%,只有2个碱基发生改变.将得到的PLD基因片段插入植物表达载体pAT940,构建了PLD基因反义表达载体pATC—rPLD,为下一步进行抗逆转基因作物选育打下基础.  相似文献   
47.
从多相流多流体模型、气相湍流k-ε模型与颗粒湍流kp模型出发,对底部向上射流悬浮床内气固两相流动进行数值模拟,得到了不同入口气速下各截面的颗粒相速度场、颗粒相脉动速度场的分布,结果与实验定性一致。计算结果与实验值对比的结果表明,数值模拟对进一步的研究有指导意义。数值结果与实测值间存在的差异则有待于进行直接三维流动模拟、进一步考察更为合理的边界条件及应用更先进的模型来解决。  相似文献   
48.
Highways in mountainous areas are easy to be damaged by such natural disasters as debris flows and landslides and disaster reduction decision support system (DRDSS) is one of the important means to mitigate these disasters. Guided by the theories and technologies of debris flow and landslide reduction and supported by geographical information system (GIS), remote sensing and database techniques, a DRDSS against debris flow and landslide along highways in mountainous areas has been established on the basis of such principles as pertinence, systematicness, effectiveness, easy to use, open and expandability. The system consists of database, disaster analysis models and decisions on reduction of debris flows and landslides, mainly functioning to zone disaster dangerous degree, analyze debris flow activity,simulate debris flow deposition and diffusion, analyze landslide stability, select optimal highway renovation scheme and plan disaster prevention and control ergineering. This system has been applied successfully to the debris flow and landslide treatment works along Palongzangbu Section of Sichuan-Tibet Highway.  相似文献   
49.
With the development in the field of tissue engineering, the interaction between biomaterials and cells has been deeply studied. Viewing the cells seeded on the surface of materials as an organic whole, cell cycle and apoptosis are analyzed to deepen the study of cell compatibility on biomaterials, while cell proliferation and differentiation are studied at the same time. In this paper, hyaluronic acid is incorporated into the chitosan-gelatin system. Propidium iodide (PI) was used in cell cycle analysis and the double-staining of cells with annexin-V and PI was applied in cell apoptosis analysis. The results show that incorporated hyaluronic acid shortens the adaptation period of cells on the material surface, and then cells enter the normal cell cycle quickly. In addition, added hyaluronic acid inhibits cell apoptosis triggered by the membranes. Therefore, hyaluronic acid improves the cell compatibility of chitosan-gelatin system and benefits the design of biomimetic materials.  相似文献   
50.
发动机怠速稳定性控制方法的分析研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
从提高发动机经济性和降低有害排放物质的角度出发,讨论了发动机怠速控制方法,对用PID控制,模糊控制,模糊-PID控制方法进行深入分析研究,并给出3种控制方法的仿真结果,模糊控制完全可用于发动机ECU的怠速控制。  相似文献   
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