基于DRNN的CMP多区压力系统解耦自适应逆控制

化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)过程中由于柔性弹性隔膜的存在使得各腔室之间压力相互耦合,从而使得多区腔室的压力控制变得复杂。针对这一耦合现象,提出了一种将基于动态回归神经网络(dynamic recurrent neural network,DRNN)在线辨识与神经元解耦和分段变参数复合控制相结合的方案。利用DRNN的非线性映射能力以及神经元的在线实时动态解耦特性,获得对象的逆模型,消除了各区之间的耦合;采用分段变参数控制策略减少了由于初始时刻逆控制模型辨识不准而带来的不利影响和系统动荡,使得整个控制系统趋于稳定。实验结果表明:该方案不仅具有很好的在线辨识和解耦能力,同时较常规定参数比例积分微分(proportional integral derivative,PID)控制还具有自适应能力强、响应速度快、超调量小以及鲁棒性好等特点。     

郑州市城区“八五”—“九五”期间环境空气质量发展变化趋势及规律分析

以“八五”—“九五”期间郑州市城区环境质量监测数据为准,对郑州市环境空气质量发展变化的总趋势进行分析和讨论,从中发现规律,为“十五”期间进一步改善郑州市环境空气质量提出相应的建议和对策。     

大亚湾沉积物中氨基酸的垂直分布——沉积物柱样W9中的水解氨基酸和游离氨基酸

目的：研究沉积物中水解和游离氨基酸的垂直分布特征。方法：采集60 cm大亚湾柱状沉积物样品，每2cm为一层分割，用反相高效液相色谱法分析每层样品中的水解和游离氨基酸含量，对分析结果进行曲线拟合的相关分析。结果：15种游离氨基酸和水解氨基酸中的丝氨酸、苏氨酸、丙氨酸、缬氨酸、异亮氨酸和亮氨酸含量的对数值与深度之间存在显著的线性关系；中性氨基酸甘氨酸、丝氨酸、苏氨酸、丙氨酸、缬氨酸、异亮氨酸和亮氨酸的水解和游离氨基酸含量之间存在显著的相关关系。结论：15种游游离氨基酸和6种中性水解氨基酸的垂直分布可用指数方程来描述；中性水解氨基酸和游离基酸之间存在显著的相关性。     

论隧道渗漏的原因与治理

公路隧道工程是现代公路工程建设中的重要组成部分,是解决公路山岭穿越的重要方式。在公路隧道建设中,隧道的防渗漏是设计与施工中必须重视的工作,对公路隧道的安全有着重要的意义。本文通过对公路工程隧道渗漏的原因分析入手,对隧道渗漏的治理进行了细致的分析和论述。     

基于遗传算法的串级系统优化设计

本文介绍了一种新的串级系统优化设计方法.它结合串级控制系统模型,以典型的性能指标为目标函数、以调节器设计参数的取值范围等为约束条件建立了参数优化数学模型,然后用遗传算法求解优化参数.数值实验表明了本方法的有效性.     

浅谈低压电网无功补偿与优化

随着电力系统的发展和电力用户自动化水平的提高，电器设备对电压质量的要求越来越高，局部电压不稳定和功率因数恶化严重威胁着自动化水平设备的寿命，电力系统的无功补偿和优化是减小网损提高系统运行电压和系统稳定水平的有效手段．     

基于坐标下降和偏移映射的运动编辑与重定向

提出了一种基于坐标下降和偏移映射的人体运动编辑与重定向方法,使角色运动适用于虚拟场景。采用加入生理限制的循环坐标下降算法自动求解约束帧目标姿态,在约束帧附近通过构造运动偏移映射曲线的方法对运动进行自动平滑处理。实验结果表明,该方法较为完整的很好的保留了原始运动的特征,且重定向得到的运动较为平滑自然。     

自由曲面轮廓零件的寻位加工方法

为解决难以准确定位的复杂曲面零件的加工问题 ,从信息、控制与机械制造工艺及设备相结合的角度出发 ,提出自由曲面寻位加工这一新的曲面加工方法。对该方法所涉及的曲面零件的自动寻位、基于寻位信息的位姿自适应加工控制等关键问题给出了可行的解决办法。在此基础上开发了曲面零件寻位加工控制软件并进行了仿真验证。理论分析与实验结果表明 ,所提出的方法是可行的 ,为复杂自由曲面零件的无定位加工开辟了一条新的有效途径     

科学中的完整

在科学中许多有关荣耀的和不光采的问题并不是出于恶意的预谋而是出于自我欺骗在1945年,美国哈佛大学的一个学物理的研究生选择了一个用分子光谱学方法来测量在地球上空1 00。公里以上大气温度的课题作为他的博士论文题目。那时人们对地球上空1000公里以上的天气温度一无所戒     

基于VC平台的XML解析技术分析

XML数据由嵌套的标记元素组成，标记包含了对文档存储形式和逻辑的描述XML的嵌套标记使得它更适合描述Web上的半结构化的数据。XML不仅能够表示文档的内容，而且可以表示文档的结构。通常解析XML文档有两种方法：一种是文档对象模型DOM（Document Object Model），另外一种是XML简单接口SAX（Simple APIfor XML）。本文对这两种方法进行了介绍，并在VC6环境下实现了对XML文档的解析。