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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 109 毫秒
1.
随着数控机床在企业中的广泛使用,采用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测已经成为目前公认的高效、高精度的检测方法。不同的机床使用激光干涉仪检测的精度曲线会有所相同,因此就需要对不同的测试结果给予全面而科学地分析。该文主要叙述了激光干涉仪在数控机床位置精度检测中应用和测量过程中误差产生的原因以及消除误差方法。  相似文献   

2.
用激光干涉仪测量三坐法测量机的动态特性   总被引:1,自引:0,他引:1  
提出了一种用激光干涉仪测量三坐标测量机动态误差的方法,分析了激光干涉仪的测量原理并分别对扫描测量和触发测量中的动态误差进行了模拟测量,实验结果表明,运动中的加速产生的附加惯性力是产生动态误差的重要因素,由于惯性的原因,扫描测量中的换向时产生的误差大久是同样条件下惯性力造成误差的2倍。  相似文献   

3.
Zeeman双折射双频激光器能够输出3~40 MHz频差的双频激光,可用作高测速双频激光干涉仪的光源。针对这种激光器的特点,以频差约7 MHz的Zeeman双折射双频激光器为干涉仪的光源,建立了中频差双频激光干涉仪测量系统。经过与商用HP5528A双频激光干涉仪的比对测量实验得出,中频差双频激光干涉仪实验测量系统测量线性度小于0.002%,测量的标准不确定度小于0.1μm,证明了中频差双频激光干涉系统的可行性和针对这种光源采用的设计方案的正确性。  相似文献   

4.
减小光栅传感器测量信号误差的研究   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
在光栅传感器测量系统中,为了提高测量信号的精度,需要对系统输出信号的误差进行研究。介绍了莫尔 条纹的产生和光栅传感器测量系统,对测量系统的误差进行了分析,提出了利用基于误差修正技术的光栅测量系 统减小光栅测量信号的系统误差的方法,以及利用滑动平均滤波与中值滤波结合的方法减小动态莫尔条纹信号中 的随机误差,总结了设计光栅传感器测量系统的关键技术。仿真结果表明#混合滤波方法可以有效地减小动态莫 尔条纹信号中的噪声干扰,且算法简单。  相似文献   

5.
用激光干涉仪测量三坐标测量机的动态特性   总被引:1,自引:1,他引:0  
提出了一种用激光干涉仪测量三坐标测量机动态误差的方法,分析了激光干涉仪的测量原理并分别对扫描测量和触发测量中的动态误差进行了模拟测量.实验结果表明,运动中的加速度产生的附加惯性力是产生动态误差的重要因素.由于惯性的原因,扫描测量中换向时产生的误差大约是同样条件下惯性力造成误差的2倍.  相似文献   

6.
针对一类大直径精密转台不易采用传统方法实现高精度角度测量的问题,提出了一种基于激光追踪仪空间位置坐标测量的单自由度转台旋转角度的测量和补偿方法.首先依据"不共线的三点确定一个圆"的几何原理,建立了被测点空间位置坐标信息与转台角度之间的映射关系,并分析激光追踪仪的位置测量精度对转台角度测量精度的影响,据此提出了被测点半径长度和测量角度间隔的选取原则,以期充分利用激光追踪仪的位置测量精度实现转角误差的高精度测量;然后利用多项式插值方法获得转台转角误差随转角位形的变化规律,并将误差拟合为补偿函数嵌入控制器中,采用修正光栅输出示数的方式来实现转角误差的实时补偿.将文中方法实施于1台安装有圆光栅的精密转台的标定实验中,结果表明,文中方法可有效校正由圆光栅装配误差导致的角度定位误差,使其由标定前的40″降低至5″.  相似文献   

7.
四轴联动加工中心回转轴几何误差参数的辨识及测量   总被引:1,自引:0,他引:1  
在三轴加工中心的21项几何误差参数测量和辨识基础上,借助激光双频干涉仪、高精度电动测微仪以及Renishaw公司的回转精度测量仪测定综合回转误差,并对其进行了具体分析和辨识,辨识结果表明,本方法解决了以前无法测量和分析辨识回转误差的难题,有一定理论和使用价值。  相似文献   

8.
提高激光干涉测量系统精度的方法与途径   总被引:4,自引:0,他引:4  
激光干涉系统的测量精度会受到系统本身机械结构及光学元件布局的影响,因此采用了耦合差动干涉的方法,使影响测量精度的各种因素尽量由干涉系统自身予以消除,提高了干涉仪的分辨率和稳定性.利用以Heydemann修正模型为基础的误差补偿方法,对干涉信号中存在的非正交误差、不等幅误差及直流电平漂移误差进行了修正.根据多点拟合的原理,提出了减小运算量的新算法.设计了以C8051F005单片机为核心的电路补偿模块,实现了以上3种误差的实时补偿.实验结果表明:通过采取以上措施,该干涉测量系统在10mm的测量范围内取得了10~12nm的测量精度.  相似文献   

9.
该文设计了一种基于激光传感器和光栅尺的波纹管尺寸高精度测量系统,通过运动机构将被测波纹管的二维几何尺寸,分解成水平和垂直坐标,被激光传感器和光栅尺分别测量,最后将数据拟合到一起,形成波纹管几何尺寸模拟曲线,通过计算得到被测量波纹管的长度、波高、波距等参数,可满足于对波纹管外形几何尺寸的高精度测量。系统采用C#设计人机交互软件,通过通信接口把激光传感器和光栅尺实时测量数据采集到上位机,并控制PLC和伺服电机完成测量周期扫描,全程可自动完成测试,与传统人工手动测量相比,大大地提升了工作效率和测量的准确度,适合在波纹管的批量生产和测试过程中使用。  相似文献   

10.
论述了一种新型单频激光干涉技术的原理和测量系统。该测量系统在迈克逊单频激光干涉仪的基础上采用自扫描光电二极管列阵(SSPDA)接收器件,将直流信号转换成交流信号、微处理机处理,具有波长自动补偿功能。实验证明它比一般单频激光干涉仪具有较高的抗干扰性及测量精度,其分辨率为 0.02μm。  相似文献   

11.
详细分析了投影光栅的频谱结构、位相信号的频率范围及背景亮度等因素对测量精度的影响,提出了光栅周期、滤波器通频带及光栅信号幅度的选择范围。  相似文献   

12.
目前在科技研究、工业生产等各行业中,对于位移的高精度测量都是不可或缺的。利用光栅传感器完成测量是目前的主要方法。光栅传感器利用光电转换的原理将位移转换为电信号,该信号经过整形、细分后输出给后级电路完成对信号的处理,最后得到位移大小方向。本文在分析光栅传感器工作原理的基础上,提出借助CMOS图像传感器代替传统的硅光电池检测莫尔条纹,完成信号的细分,实现对位移的高精度测量。文中介绍了整体电路的设计和单片机系统的硬件及软件流程。  相似文献   

13.
为了扩大光纤光栅称重传感器的测量范围,提高传感器的测量精度,在理论上设计了一套新型的可以扩大测量范围、提高测量精度的系统,并通过Matlab平台仿真.结果表明,单级传感器在波长变化小于0.2nm时具有良好的线性度.该系统将双光纤光栅串联,分别粘贴于等强度梁的上下两侧,采用光强解调的方法实现对光纤光栅输出信号的解调;在解调基础上,利用伸缩杆结构传递载荷重力.实验测试结果验证了多级应变测量的可行性,在保证分辨力的同时扩大了传感器的测量范围.  相似文献   

14.
提出在圆光栅作为分度基准的高精度测量仪器中,利用A/D转换器和单片机,采用软件编程的方法,对光栅读数头输出信号进行新的构建,形成一分段线性函数。实现了莫尔条纹八细分,从而使角度测量达到较高的精度。与传统的细分法相比,硬件电路简单,细分误差小,且便于误差修正。  相似文献   

15.
阐述了光栅传感器的测量原理,并利用光栅精密测量的特性,开发了车轮毂椭圆度的测量装置。该装置应用光栅传感器采集位移信号,采用光栅莫尔条纹和光电转换原理将被测位移量转换成数字脉冲信号输出,采用脉冲辨向及四倍频细分电路以实现信号方向识别及提高测量精度,将产生的脉冲信号通过单片机控制程序实现数字显示。  相似文献   

16.
本文报告了关于光栅法激光测速的初步研究结果。文中阐述了利用透射光栅提取速度信息的原理,分析了差分型光栅测速光路系统的信号频谱,介绍了所使用的实验系统及信号处理方法,比较了光栅测速法与激光多普勒测速法的异同,给出了实验的结果。通过实验,成功地验证了透射光栅测速原理,证实了光栅法激光测速的优点及技术可行性。这种测速方法值得重视,应进行深入研究并使之仪器化。  相似文献   

17.
高精度平面光栅尺测量系统的测量精度直接影响浸没光刻机硅片台的定位精度和稳定时间.考虑到安装在平面光栅尺载体上的平面光栅尺因其载体固有频率较低,易受到主基板残余振动和高速硅片台气压扰动而产生振动,因此研究平面光栅尺载体的减振技术意义重大.文中阐述了一种新型平面光栅尺载体减振方法,围绕热解耦技术和粘滞阻尼吸振技术,进行理论建模、仿真分析和测试评价.结果表明粘滞阻尼器和柔性结构并联系统可以显著改善平面光栅尺载体结构动态特性,提升平面光栅尺测量系统的测量精度及缩短硅片台的稳定时间.   相似文献   

18.
主要介绍了一种基于可编程逻辑器件FPGA,用VHDL硬件描述语言作为平台,实现计量光栅4倍频细分技术的方法。采用细分技术可以提高计量光栅的分辨率和测量精度,而利用软件平台实现细分,则可以根据实际测量需要,灵活地改变电路的细分倍数。  相似文献   

19.
基于频率调制二元编码光栅相位测量剖面术   总被引:1,自引:0,他引:1  
分析传统的频率调制正弦光栅用于3步相移相位测量剖面术时,系统非线性对测量精度的影响,提出采用二元频率调制光栅,提高3步相移相位测量剖面术计算绝对相位测量精度的方法.完成了分别采用传统正弦频率调制光栅投影和基于Floyd-Steinberg二元编码频率调制光栅投影的相移剖面术的绝对相位计算结果对比.结果表明,采用正弦频率调制光栅模板的3步相移算法对系统的非线性敏感,而二元编码频率调制光栅模板既保持了利用单组条纹投影就可计算条纹绝对相位的优点,又不受系统非线性的影响,大大提高了基于频率调制光栅的相移剖面术的测量精度.计算机模拟和实验验证了所提方法的有效性.  相似文献   

20.
为了测量炮管发射过程中各处的瞬态应变,研究了光纤B ragg光栅瞬态应变测试技术,构建了炮管瞬态应变测试系统.系统主要由宽带光源、光纤光栅、非平衡马赫-曾德干涉仪、数据采集与处理等部分组成.分析了光纤B ragg光栅应变信号的干涉解调技术,编写了三步移相解调软件.通过悬臂梁实验对系统进行了标定,得到应变与测量信号之间相位差曲线.在炮管壁安置4个测试点,分别测量出瞬态应变,炮管管壁的应变大小从炮尾到炮口呈逐渐衰减的趋势.分析表明,系统测量精度优于0.7%.该方法的使用对炮管和弹丸诸参数的选择有指导意义.  相似文献   

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