等离子体腐蚀技术在硅太阳电池生产中的应用

<正> 一、概述随着现代科学技术的发展,等离子体的应用越来越广泛。它广泛应用于集成电路、金属切割,金属焊接等方面,把这一新工艺应用到硅太阳电池生产中,也取得了很好的效果。在硅太阳电池生产中有一道腐蚀硅片周边P-N结的工序,其目的就是去掉P-N结边缘表面的扩散层,减小P-N结的漏电,改善曲线因子,提高开路电压,从而获得最大输出功率。而在硅太阳电池常规工艺生产中,是采用在硅片两面涂上黑胶,将上下电极保护起来,然后放人由硝酸,氢氟酸和醋酸组成的腐蚀液中腐蚀边界,最后再使用甲苯或二甲苯,煤     

硅晶体管禁带宽度的测定方法

禁带宽度是硅晶体管的一个重要物理参数.本文提出了根据晶体管发射结pn结反向饱和电流在发射区部分的温度特性和集电结正向偏置电压的温度特性,利用线性外推法确定硅晶体管各区域禁带宽度的新方法.由于发射区重掺杂,本文还考虑了载流子的简并情况.     

Au纳米颗粒对单根ZnO纳米带电学性质的影响

利用化学气相沉积法在硅衬底上合成高产的Zn O纳米带,采用微栅模板法得到单根Zn O纳米带半导体器件,通过溅射Au纳米颗粒对单根Zn O纳米带进行表面修饰,测得器件在紫外光和暗环境下的I-V特性曲线,研究了影响单根Zn O纳米带光电流和暗电流的因素.结果表明:Au纳米颗粒对两种环境下的电流变化的影响是不同的,光电流随Au纳米颗粒的增多呈现先增大后减小的变化趋势,而暗电流随Au纳米颗粒的增多呈现持续增大的变化趋势.讨论了影响电流变化的可能的机制.     

在工作状态下感应反型层太阳电池的薄层电阻

给出了决定在工作状态下感应反型层太阳电池薄层电阻的一组方程.与以前的理论不同之处是考虑到了薄层电阻对电地工作状态的依赖性.分析中计及了电地外表面上的象电荷和二氧化硅-硅界面的界面电荷的作用.文中以氮化硅-二氧化硅-硅结构的感应反型层太阳电池作为实例,研究了它的薄层电阻与工作电压的关系.结果表明,当工作电压在0,4V附近时,薄层电阻有一最小值,而当工作电压大于0.4V时,薄层电阻随工作电压的增高而急剧增大.     

高压功率VDMOST的SPICE直流模型

基于高压VDMOST的物理机理和特殊结构,详细分析、推导了漂移区电阻、埋层电阻、内部节点电压及内部耗尽层宽度随外加偏压变化而变化的情形;采用数值计算的方法,建立了较精确的高压六角型VDMOST三维物理模型,进而提出了VDMOST的直流(DC)等效电路模型.该模型由level3 NMOS管、控制源、电容等元件组成,较准确地模拟了高压器件的特性.与以往文献的结果相比,该模型物理概念清晰,准确性高,避免过多工艺参数引入的同时,简化了等效电路.将该模型嵌入SPICE进行仿真,得到了全电压范围内连续的I-V特性曲线,与实际测试结果相比,误差接近5%.     

150 keV电子辐照下直拉硅的缺陷演化及其电学性能

研究150 keV电子辐照下直拉硅中的缺陷演化规律,探讨辐照缺陷对直拉硅电学性能的影响.结果表明,150 keV电子辐照在直拉硅中引入VnOm复合体,且随辐照注量的增大缺陷浓度升高.对于不同导电类型的直拉硅,P型硅的薄膜方块电阻和薄膜电阻率随电子辐照注量的增大而增大并趋于饱和,而N型硅的薄膜方块电阻和薄膜电阻率随电子辐照注量的增大而减小并趋于饱和.     

压力对铁电体Pb（Fe_（1／2）Nb_（1／2））O_3－Pb（Fe_（2／3）W_（1／3））O_3弥散相变的影响

在０～１４ｋｂａｒ之间的不同流体静压力和－１９０～１００℃温度范围内测量了Ｐｂ（Ｆｅ１／２Ｎｂ１／２）Ｏ３－Ｐｂ（Ｆｅ２／３Ｗ１／３）Ｏ３铁电体复合材料的介电常数ε随温度、压力的变化特性．实验结果表明：温度和压力导致的相变都是弥散的；随压力的增加；介电常数峰值温度（或称宏观居里温度）Ｔｍ线性下降，其斜率ｄＴｍ／ｄＰ＝－３．１℃／ｋｂａｒ，介电常数峰值εｍａｘ降低，ε～Ｔ曲线弥散程度增大．用组分涨落模型对所得结果作了计算，并就压力对弥散相变的影响进行了唯象分析．     

基于关联维数的干气密封环摩擦系数特性研究

利用DM-2型端面摩擦磨损试验机,选取16°螺旋角和18°螺旋角干气密封环进行测试,提取摩擦磨损过程中的摩擦系数信号,运用关联维数法研究干气密封环的摩擦系数特性。结果表明:在载荷一定的情况下,2种螺旋角摩擦系数和其关联维数随速度增大皆先减小后增大,呈正相关;而在速度一定的情况下,2种螺旋角摩擦系数随载荷的增大而减小,其关联维数随载荷的增大而增大,呈负相关。18°螺旋角的摩擦系数和其关联维数比16°螺旋角大。关联维数正确反映了干气密封环摩擦系数特性变化规律。     

中心裂纹圆盘断裂参数的有限元标定

圆盘试件作为最受研究人员青睐的式样类型,被广泛用于测试和研究脆性材料(如岩石、聚合材料及陶瓷等)的Ⅰ、Ⅱ型及复合型断裂韧性。Williams级数解的常数项,即平行于裂纹方向的T应力对裂纹的断裂行为存在很大影响,进一步的研究表明,裂纹尖端Williams级数解的更高阶非奇异项(n=3)对中心直裂纹圆盘断裂特征的影响同样显著。研究采用有限元法获得了裂纹尖端多个节点的位移值,建立超静定方程组,采用最小二乘法对其进行求解,对Williams级数解的奇异项应力强度因子K_Ⅰ和K_Ⅱ,常数项T应力以及更高阶系数A_3和B_3进行求解。最后,给出了不同相对裂纹长度a/R及裂纹倾角的中心裂纹圆盘裂纹尖端的应力强度因子K~*_Ⅰ及K~*_Ⅱ,以及更高阶项断裂参数A~*_3和B~*_3。结果表明:T~*随裂纹倾角增大逐渐增大且保持为负值;B~*_3均为正值且随裂纹倾角的增大呈现先增大后减小的趋势;K~*_Ⅰ\,A~*_3均随裂纹倾角的增大逐步减小,而K~*_Ⅱ随裂纹倾角的增大而增大;中心裂纹圆盘的纯Ⅱ型断裂裂纹倾角随相对裂纹长度的增大而减小,而Ⅱ型无量纲应力强度因子随裂纹长度的增大而增大。     

表冷器热交换效率影响因素分析

表冷器目前广泛应用于空调工程中的空气处理过程。通过逐一改变表冷器中水流速度、迎面风速、析湿系数三个参数中的一个而保持其他参数不变,来分析各因素对表冷器热交换效率的影响。得出热交换效率随水流速度的增大而增大,随迎面风速、析湿系数的增大而减小,但增大或减小的趋势逐渐变缓。为表冷器的设计者合理控制这些参数使表冷器的实际换热量最大程度地接近最大可能换热量提供数据参考,从而减少能量的浪费,改善室内空气品质。     

样品衰减系数对SPR相位型传感器的影响

以折射率的虚部表征被测介质的光吸收特性,从理论上分析了样品衰减系数对表面等离子体共振(SPR)相位差曲线的影响,并进行实验验证.结果表明：针对透明介质优化设计的SPR结构用于测量吸收介质时,相位差曲线在共振角附近的变化率随样品衰减系数的增大而减小,导致SPR相位型传感器的灵敏度退化.改变金膜厚度可有效补偿这种灵敏度的衰退.     

Co与掺杂Si固相反应形成CoSi2接触pn结及反应过程中As的行为研究

研究经扩散或离子注入掺B、P、As的硅表面上形成自对准CoSi_2薄膜接触和pn结技术.采用离子束溅射Co膜和Co/Si快速热处理(RTP)固相反应形成CoSi_2薄膜.在掺杂Si上形成CoSi_2薄膜以后,薄层电阻可下降一个数量级.对AS离子注入样品中,研究了不同硅片热处理工艺对As在Co/Si反应过程中再分布的影响.实验结果表明,对于CoSi_2形成之前杂质先经激活退火的硅样品,As在Co/Si固相反应过程中发生显著的“雪犁”效应,而在CoSi_2形成之前未经激活退火的样品,在杂质激活和Co/Si固相反应共退火过程中,As的行为则有明显不同.扩展电阻和电学测试表明,用这两种不同热处理工艺,在CoSi_2/Si界面处均可获得较高的载流子浓度,形成的CoSi_2接触pn结具有良好的二极管I-V特性,其反向漏电流明显小于对比实验的Al/Si接触pn结.     

牛背梁夏季植被指数的地形分布特征研究

地形因子是影响植被分布的重要因素之一。基于2019年7月MODIS MODl3Q1数据提取了秦岭牛背梁植被指数,研究牛背梁植被指数(NDVI)在高程、坡度、坡向、地形平面曲率4个地形因子的分布特征。结果表明:(1)NDVI在海拔1 156～1 820 m随着高程的增加而增大,在1 820～2 053 m随高程增加而减小,在2 053～2 294 m达到峰值,后又随高程增加而减小;(2)NDVI在坡度0°～35°随坡度升高而增大,在35°～40°随坡度升高而减小,在40°～45°达到最大值,当坡度大于45°时随坡度增大而减小;(3)受太阳辐射影响,植被在0°～22.5°(北)、22.5°～67.5°(东北)坡向长势较好,其他坡向长势一般;(4)NDVI值在平面曲率为157.5°～202.5°(南)时达到最大值,在67.5°～112.5°(东)时达到最小值。研究结果对牛背梁自然保护区生态环境监测和保护具有积极的理论指导意义。     

中老年人右胸导联心电图分析

本文分析331名正常人右胸导联心电图,发现随年龄的增长,心电图QRS形态,电压发生不同程度的“正常”改变。V_3R、V_4R:50岁以后,QS型显著增多,V_3R及50岁以下的V_+4R不出现Q波,50岁以上V_4R可出现Qr型。QRS电压有随年龄增大而减小的趋势。     

电子束蒸发的α—Si1—xCOx薄膜的光吸收特性

研究了电子束蒸发的掺过渡金属Co的非晶硅基薄膜α-Si_(1-x)Co_x的光吸收特性,结果表明,这类薄膜的组分变化,对近红外长波的吸收特性影响灵敏.0.10at%相似文献   

渐扩方通道中二次流及对流换热特性研究

运用数值模拟方法,对渐扩方通道内的对流换热特性以及二次流强度进行了研究.对Re数50～800,渐扩角1.5°～3.5°条件下渐扩管的传热和二次流特性进行了分析.结果表明:在沿主流方向的截面上,二次流强度在管壁中间区域处较强,而在方管的4个角上较弱;在一定的渐扩角下,周向平均Nu数随Re数增大而增大,二次流强度也随Re数增大而增大;在同一Re数下Nu数随渐扩角的增加而减小,而Se数随渐扩角的增大而增大.入口段的长度对渐扩段的换热情况有一定的影响,而出口段的长度对渐扩段的换热情况基本没有影响.     

含盐量对水泥灰土压缩性的影响

通过对水泥灰土进行不同含盐量的Na2SO4溶液浸泡后的固结试验研究,得到了含盐量、养护龄期对水泥灰土的压缩性指标的影响规律.结果表明:随着含盐量的增大,水泥灰土的压缩系数呈现出先减小后增大的趋势,在达到含盐量7%之前,压缩系数随着含盐量的增大而减小;当含盐量为7%时,压缩系数减为最小;含盐量超过7%后,压缩系数开始增大,压缩模量的变化规律与压缩系数相反.随着养护龄期的增长,水泥灰土的压缩系数不断减小,并且在初期(20天)压缩系数随龄期增长变化较快,而在后期(20天)压缩系数随龄期增长变化较慢,压缩模量与养护龄期的关系曲线则呈相反的变化趋势.     

穿单孔换能器的频率与孔尺寸间的关系研究

研究了前盖板穿单孔夹心式换能器的谐振频率与穿孔尺寸间的变化关系。基于穿单孔换能器的等效电路,利用解析法推导出了该结构换能器的频率方程,计算得到了频率随穿孔尺寸变化的关系曲线,结果发现谐振频率并不是随着穿孔质量的增大而单调上升。在孔深不变时,谐振频率随孔径的增加而增大,而在孔径不变时谐振频率随着孔深的增大先增加后减小,进而解释了其物理意义。     

弹性模量受温度影响有限长杆的广义热弹耦合问题

应用Lord和Shulman（L-S）广义热弹性理论,研究了材料特性参数随温度线性变化的两端固定杆受移动热源作用时的热弹动态响应．计算得到了杆内温度及位移的分布规律,分析了移动热源速度、弹性模量以及热松弛时间对温度和位移的影响．从分布图上可以观察到,温度及位移随移动热源速度的增大而减小,随温度变化的弹性模量对位移有显著的影响,而对温度几乎没有影响;无量纲温度、位移的峰值随热松弛时间的增加而增大。     

手性液 液萃取分离多巴对映体

研究了多巴对映体在含有疏水性L-酒石酸正己酯手性选择剂的水-有机溶剂两相系统中的萃取分配行为,考察了有机溶剂的种类、L-酒石酸正己酯的浓度、水相pH值以及萃取温度对分配系数和分离因子的影响.实验表明,L-酒石酸正己酯与多巴Ⅱ对映体比与多巴Ⅰ对映体形成更稳定的非对映体复合物;随着手性选择剂浓度的增加,分配系数逐渐增大,分离因子先增大后减小;随pH值的提高,分配系数和分离因子均降低;提高萃取温度,分配系数增加而分离因子减小;同时,有机溶剂的性质对分配系数和分离因子的影响也比较大.