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AFM研究Sol-Gel法制备的TiO_2和Al_2O_3-TiO_2-SiO_2涂膜表面形貌
引用本文:
杜永娟.AFM研究Sol-Gel法制备的TiO_2和Al_2O_3-TiO_2-SiO_2涂膜表面形貌[J].华东理工大学学报(自然科学版),1998(4).
作者姓名:
杜永娟
作者单位:
华东理工大学无机材料系
摘 要:
载玻片在金属醇化物的溶胶中浸涂、热处理,获得厚度为50~90nm的TiO2和XAl2O3-YTiO2-ZSiO2涂膜(X=0~30,Y=0.25~0.60,Z=0.20~0.65,摩尔分数)。使用原子力显微镜(AFM)研究涂膜表面纳米范围的形貌。研讨了化学组成,热处理温度与时间,以及热处理前或后的贮存史对表面形貌,rms-均方根粗糙度和锐钛矿结晶的影响。
关 键 词:
表面形貌
TiO_2膜
Al_2O_3-TiO_2-SiO_2膜
原子力显微镜
锐钛矿晶体
溶胶-凝胶法
Study of the Surface Topography of TiO 2 andAl 2O 3 TiO 2 SiO 2 Coatings on Glass with Atomic Force Microscopy
Abstract:
Keywords:
surface nanoscale topography
TiO
2 coatings
Al
2O
3
TiO
2
SiO
2 coatings
atomic force microscopy
crystallization of anatase
sol
gel method
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