| 电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计 |
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| 引用本文： | 张永华,丁桂甫,赵小林,马骏,蔡炳初.电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计[J].上海交通大学学报,2004,38(5):725-728. |
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| 作者姓名： | 张永华 丁桂甫 赵小林 马骏 蔡炳初 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863)项目(2003AA404140)，信息产业部电科院预研项目(41308050116)，国家自然科学基金资助项目(10377009) |
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| 摘 要： | 提出了利用电磁驱动机理优点的双稳态射频微电子机械系统(RF MEMS)开关结构形式．开关的微驱动部分由导磁的悬梁、扭梁和线圈、永磁体组成。由于采用了永磁铁单元，可以实现对开关的双稳态电磁控制，从而降低了开关的功耗。对开关的微机械结构进行力学分析的结果表明，含有加强筋结构的开关模型，在12μN力的作用下，可以使悬梁两端产生20μm的位移，此时系统的固有振动频率约为5．7kHz。
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| 关 键 词： | 射频 微电子机械系统 开关 双稳态电磁驱动 模型分析 |
| 文章编号： | 1006-2467(2004)05-0725-04 |
| 修稿时间： | 2003年5月16日 |
Micromechanical Structural Design of Electromagnetically Actuated Bistable RF Micro-Electro-Mechanical Systems Switches |
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| ZHANG Yong-hua,DING Gui-fu,ZHAO Xiao-lin,MA Jun,CAI Bing-chu Education,Shanghai Jiaotong Univ.,Shanghai ,China.Micromechanical Structural Design of Electromagnetically Actuated Bistable RF Micro-Electro-Mechanical Systems Switches[J].Journal of Shanghai Jiaotong University,2004,38(5):725-728. |
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| Authors: | ZHANG Yong-hua DING Gui-fu ZHAO Xiao-lin MA Jun CAI Bing-chu Education Shanghai Jiaotong Univ Shanghai China |
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| Institution: | ZHANG Yong-hua,DING Gui-fu,ZHAO Xiao-lin,MA Jun,CAI Bing-chu Education,Shanghai Jiaotong Univ.,Shanghai 200030,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | radio frequency (RF) micro-electro-mechanical systems (MEMS) switches bistable electromagnetic actuation model analysis |
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