| 氧浓度对MS法制备的ZnO:Sb薄膜的光学性能影响 |
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| 引用本文： | 朱绍平,马勇,房燕,张爱民.氧浓度对MS法制备的ZnO:Sb薄膜的光学性能影响[J].重庆师范大学学报(自然科学版),2010,27(3):77-80. |
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| 作者姓名： | 朱绍平 马勇 房燕 张爱民 |
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| 作者单位： | 重庆师范大学,物理与电子工程学院,重庆,400047;重庆师范大学,物理与电子工程学院,重庆,400047;重庆师范大学,物理与电子工程学院,重庆,400047;重庆师范大学,物理与电子工程学院,重庆,400047 |
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| 基金项目： | 重庆市教委科学技术研究项目 |
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| 摘 要： | 在玻璃衬底上以Zn-Sb合金靶为靶材,采用射频反应磁控溅射法制备出具有良好C轴取向的ZnO:Sb薄膜.用X射线衍射仪、分光光度计和荧光发光光度计等测试手段分析了Sb掺杂ZnO薄膜的晶体结构和光学性质.薄膜在N2气中550 ℃退火后的X射线衍射谱表明: Sb掺杂ZnO薄膜主要沿ZnO的(002)方向生长,没有检测到其它杂质相的生成.退火前,薄膜的光学带隙随氧浓度的增大而增大,退火后薄膜光学带隙减少.薄膜的室温光致发光谱中有较强的蓝光发射峰,并对蓝光的发射机理作了分析:蓝光(487 nm左右)的发射与锌填隙(Zni)和锌空位(VZn)缺陷能级有关,还与Sb3+离子提供了相应的蓝光中心有关;蓝光峰(436 nm左右)的发射与锌填隙缺陷能级和氧空位(VO)形成的浅施主能级有关,这些蓝光峰的出现对于开发出单色蓝光发光器件有重要意义.
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| 关 键 词： | Sb掺杂ZnO 射频磁控溅射 透射率 光致发光 氧浓度 |
Influence of O2 Concentration on Optical Properties of ZnO:Sb Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
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ZHU Shao-ping,MA Yong,FANG Yan,ZHANG Ai-min.Influence of O2 Concentration on Optical Properties of ZnO:Sb Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
[J].Journal of Chongqing Normal University:Natural Science Edition,2010,27(3):77-80. |
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| Authors: | ZHU Shao-ping MA Yong FANG Yan ZHANG Ai-min |
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