| 衬底温度对ZnO薄膜的结构和发光性能的影响 |
| |
| 引用本文： | 朱冠芳,姚合宝,郑新亮,罗惠霞,于海萍.衬底温度对ZnO薄膜的结构和发光性能的影响[J].西北大学学报,2008,38(1):31-34. |
| |
| 作者姓名： | 朱冠芳 姚合宝 郑新亮 罗惠霞 于海萍 |
| |
| 作者单位： | 朱冠芳（西北大学物理学系,陕西,西安,710069）;姚合宝（西北大学物理学系,陕西,西安,710069）;郑新亮（西北大学物理学系,陕西,西安,710069）;罗惠霞（西北大学物理学系,陕西,西安,710069）;于海萍（西北大学物理学系,陕西,西安,710069） |
| |
| 摘 要： | 目的 研究衬底温度对znO薄膜结构和发光性能的影响及薄膜结构与发光性能两者之间的关系.方法 在玻璃衬底上采用射频磁控溅射法,固定其他工艺参数、改变衬底温度制备znO薄膜.对薄膜进行XRD谱和室温光致发光(PL)谱研究.结果 衬底温度在25℃到250℃之间,随着温度的升高,结晶质量变好,且紫外发光相对明显增强.在衬底温度为250℃时,结晶质量和发光性能均达到最优化.继续升高衬底温度,结晶质量和发光性能都下降.结论 衬底温度对ZnO薄膜的制备有着重要的影响;薄膜发光性能与结晶质量密切相关,结晶质量越好,紫外发先相对强度越大.
|
| 关 键 词： | ZnO 薄膜 衬底温度 光致发光 激子发射 衬底温度 薄膜结构 发光性能 影响 ZnO thin films optical properties structure substrate temperature 相对强度 相关 膜的制备 最优化 增强 紫外发光 结晶质量 结果 室温光致发光 度制 工艺参数 固定 |
| 文章编号： | 1000-274X(2008)01-0031-04 |
| 修稿时间： | 2007年4月11日 |
Influence of substrate temperature on structure and optical properties of ZnO thin films |
| |
| ZHU Guan-fang,YAO He-bao,ZHENG Xin-liang,LUO Hui-xia,YU Hai-ping.Influence of substrate temperature on structure and optical properties of ZnO thin films[J].Journal of Northwest University(Natural Science Edition),2008,38(1):31-34. |
| |
| Authors: | ZHU Guan-fang YAO He-bao ZHENG Xin-liang LUO Hui-xia YU Hai-ping |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
