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无氢类金刚石膜的光致发光特性研究
引用本文:陈达,李清山,王璟璟,郑学刚,赵波,张宁,杨亚军,石明吉.无氢类金刚石膜的光致发光特性研究[J].江西科学,2005,23(5):534-537.
作者姓名:陈达  李清山  王璟璟  郑学刚  赵波  张宁  杨亚军  石明吉
作者单位:曲阜师范大学物理工程学院,山东,曲阜,273165
摘    要:使用脉冲激光沉积(PLD)技术制备了系列无氢类金刚石(DLC)薄膜,测量了样品的Raman光谱、光吸收和光致发光,研究了光致发光与制备条件的依赖关系。结果表明,这种薄膜是有少量sp^2键和sp^2键组成的非晶碳膜。薄膜的光学带隙在1.68~2.46eV,发光在可见光区呈宽带结构。沉积温度对类金刚石薄膜的结构和发光性质有较大影响。当沉积温度从室温升高至400℃时,sp^2团簇的长大使C原子的有序度增强,从而导致薄膜的光学带隙变窄,发光峰红移且半高宽变小。

关 键 词:脉冲激光沉积  类金刚石薄膜  拉曼光谱  光致发光
文章编号:1001-3679(2005)05-0534-04
收稿时间:2005-03-27
修稿时间:2005-06-26

Study of Structure and Photoluminescence Properties of the Unhydrogenated Diamond- like Carbon Thin Film
CHEN Da,LI Qing-shan,WANG Jing-jing,ZHENG Xue-gang,ZHAO Bo,ZHANG Ning,Yang Ya-jun,SHI Ming-ji.Study of Structure and Photoluminescence Properties of the Unhydrogenated Diamond- like Carbon Thin Film[J].Jiangxi Science,2005,23(5):534-537.
Authors:CHEN Da  LI Qing-shan  WANG Jing-jing  ZHENG Xue-gang  ZHAO Bo  ZHANG Ning  Yang Ya-jun  SHI Ming-ji
Abstract:
Keywords:Pulse laser deposition  Diamond-like films  Raman spectra  Photoluminescence  
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