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Sn—SnOx薄膜的湿敏特性研究

引用本文：	严百平,朱秉升.Sn—SnOx薄膜的湿敏特性研究[J].西安交通大学学报,1995,29(4):20-25.

作者姓名：	严百平朱秉升

摘要：
关键词：	薄膜湿度敏感温度传感器锡氧化锡
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