| 锌还原法制备多晶硅过程影响硅产率的因素分析 |
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| 引用本文： | 侯彦青,谢刚,陶东平,俞小花,李荣兴,姚云.锌还原法制备多晶硅过程影响硅产率的因素分析[J].北京科技大学学报,2011,33(12):1516-1522. |
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| 作者姓名： | 侯彦青 谢刚 陶东平 俞小花 李荣兴 姚云 |
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| 作者单位： | 昆明理工大学冶金与能源工程学院,昆明,650093 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50574045) |
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| 摘 要： | 对锌还原法过程中影响硅产率的因素进行研究.分析了当反应达到平衡,在0.1、0.3和0.6 MPa以及进料配比xZn/xSiCl4为2、4和8时,气相平衡组分分布与温度的关系.讨论了硅产率随温度、压强及xZn/xSiCl4的变化情况.结果表明,低温、一定压力和高xZn/xSiCl4对锌还原过程有利.确定了影响硅产率的主要副反应.最后得到锌还原法的最佳操作条件为温度控制在1 200 K左右、0.2 MPa及进料配比xZn/xSiCl4=4,在此条件下硅的理论产率可为90.3%.
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| 关 键 词： | 多晶硅 锌 还原 产率 热力学 相平衡 |
Influencing factors of silicon productivity during production of polycrystalline silicon by zinc reduction process |
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| HOU Yan-qing,XIE Gang,TAO Dong-ping,YU Xiao-hua,LI rong-xing,YAO Yun.Influencing factors of silicon productivity during production of polycrystalline silicon by zinc reduction process[J].Journal of University of Science and Technology Beijing,2011,33(12):1516-1522. |
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| Authors: | HOU Yan-qing XIE Gang TAO Dong-ping YU Xiao-hua LI rong-xing YAO Yun |
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| Institution: | Faculty of Metallurgical and Energy Engineering,Kunming University of Science and Technology,Kunming 650093,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | polycrystalline silicon zinc reduction productivity thermodynamics phase equilibria |
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