| MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应 |
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| 引用本文： | 孙东明,董玮,郭文滨,刘彩霞,王国东,徐宝琨,陈维友.MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应[J].吉林大学学报(理学版),2005,43(3):343-347. |
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| 作者姓名： | 孙东明 董玮 郭文滨 刘彩霞 王国东 徐宝琨 陈维友 |
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| 作者单位： | 吉林大学 集成光电子学国家重点实验室, 长春 130012 |
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| 基金项目： | 科技部“863计划”项目基金(批准号: 2002AA312020)，吉林省科技发展计划项目基金(批准号: 20010319 )，教育部跨世纪优秀人才培养计划基金 |
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| 摘 要： | 从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光
开关出发, 求解雷诺方程, 得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式. 通过求解动力学
方程, 给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.
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| 关 键 词： | 空气压膜阻尼效应 微机械光电系统 雷诺方程 倾斜下电极 |
| 文章编号： | 1671-5489(2005)03-0343-05 |
| 收稿时间： | 2004-07-16 |
| 修稿时间： | 2004年7月16日 |
Squeeze Film Damping Effect on Dynamic Response of MOEMS Optical Switch with Slant Lower Electrode |
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| SUN Dong-ming,DONG Wei,GUO Wen-bin,LIU Cai-xia,WANG Guo-dong,XU Bao-kun,CHEN Wei-you.Squeeze Film Damping Effect on Dynamic Response of MOEMS Optical Switch with Slant Lower Electrode[J].Journal of Jilin University: Sci Ed,2005,43(3):343-347. |
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| Authors: | SUN Dong-ming DONG Wei GUO Wen-bin LIU Cai-xia WANG Guo-dong XU Bao-kun CHEN Wei-you |
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| Institution: | State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, Jilin University, Changchun 130012, China |
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| Abstract: | This paper presents theoretical analysis for the effect of air squeeze film damping on a micro-opto- electro -mechanical systems (MOEMS) optical switch with a slant lower electrode. Analytical formulae for the squeeze film damping coefficient and the squeeze film damping moment on the cantilever beam of the optical switch are derived. According to solving the dynamic equation, the effect of the air squeeze film damping on the switching time is given. |
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| Keywords: | air squeeze film damping effect micro-opto-electro-mechanical systems Reynolds equation slant lower electrode switching time |
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