| 微细电火花加工关键技术研究 |
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| 引用本文： | 李勇,王显军,郭旻,周兆英,严晓敏,胡敏.微细电火花加工关键技术研究[J].清华大学学报(自然科学版),1999,39(8):1985. |
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| 作者姓名： | 李勇 王显军 郭旻 周兆英 严晓敏 胡敏 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 围绕微细电火花加工的实现，对微细电火花加工的关键技术进行了研究。开发出由蠕动式微进给机构、微小能量放电电源、微小电极线放电磨削机构、精密旋转主轴头、加工状态检测与控制系统等构成的微细电火花加工装置。探讨了微细电火花加工微小轴、高深宽比微小孔、非圆截面形状和三维结构成型、以及半导体硅材料等的工艺方法。实验加工出的微小轴和孔的最小直径分别小于２５μｍ和５０μｍ，最大深宽比分别超过２０和１０。
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| 关 键 词： | 微型机械 微细电火花加工 蠕动式微进给机构 微小工具电极 微小孔 |
| 修稿时间： | 1998-10-05 |
Research on the key technologies of micro electro discharge machining |
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| LI Yong,WANG Xianjun,GUO Min,ZHOU Zhaoying,YAN Xiaomin,HU Min.Research on the key technologies of micro electro discharge machining[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),1999,39(8):1985. |
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| Authors: | LI Yong WANG Xianjun GUO Min ZHOU Zhaoying YAN Xiaomin HU Min |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micromachine micro electro discharge machining micro inchworm mechanism micro electrode micro hole |
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