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| 激光频率对用PLD法生长氧化锌薄膜特性的影响 | |
| 引用本文： | 吴木生,叶志清,王根生,邓海东,欧阳桂仓.激光频率对用PLD法生长氧化锌薄膜特性的影响[J].江西师范大学学报(自然科学版),2008,32(1):55-57. |
| 作者姓名： | 吴木生 叶志清 王根生 邓海东 欧阳桂仓 |
| 作者单位： | 1. 江西师范大学,物理与通信电子学院,江西,南昌,330027 2. 江西财经大学现代教育技术中心,江西,南昌,330013 3. 华南农业大学,理学院,广东,广州,510642 |
| 基金项目： | 江西省自然科学基金(2007gqw0158)资助项目 |
| 摘 要： | 用脉冲激光沉积法(PLD)在硅(100)衬底上制备了c轴取向的高质量的ZnO薄膜.分析了不同激光频率下薄膜的结晶状况,通过对薄膜的PL谱的测试,分析了不同激光频率下薄膜的发光特性状况,同时进行了薄膜结构的测试.结果显示:激光频率为3 Hz的样品结晶质量较高,具有很高的c轴择优取向,同时发光性能达到相对优化. |
| 关 键 词： | 脉冲激光沉积法 氧化锌 X射线衍射 激光频率 光致发光 |
| 文章编号： | 1000-5862(2008)01-0055-03 |
| 修稿时间： | 2007年3月22日 |
Influence of Laser Frequencies on Properties of ZnO Thin Films by PLD |
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| WU Mu-sheng,YE Zhi-qing,WANG Gen-sheng,DENG Hai-dong,OUYANG Gui-cang.Influence of Laser Frequencies on Properties of ZnO Thin Films by PLD[J].Journal of Jiangxi Normal University (Natural Sciences Edition),2008,32(1):55-57. | |
| Authors: | WU Mu-sheng YE Zhi-qing WANG Gen-sheng DENG Hai-dong OUYANG Gui-cang |
| Abstract: | C-axis orientation of highly qualitive ZnO film has been fabricated by the pulsed laser depositon(PLD) technique.Under the different laser fruquencies,Properties of the films were studied by photoluminescence(PL) and X-ray diffraction(XRD).The result was showed,the crystallization quality of samples is hgher at 3 Hz,The optical properties achieve the relative optimization. |
| Keywords: | pulsed laser deposition(PLD) Zinc oxcide X-ray diffraction laser frequencies photoluminescence(PL) |
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