| 纳米多孔SiO2薄膜的结构控制与强化 |
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| 引用本文： | 吴广明,陈炎,沈军,周斌.纳米多孔SiO2薄膜的结构控制与强化[J].同济大学学报(自然科学版),2004,32(6):836-840. |
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| 作者姓名： | 吴广明 陈炎 沈军 周斌 |
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| 作者单位： | 1. 同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092
2. 上海声像出版社,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点资助项目 ( 2 0 13 3 0 40 )，国家“八六三”高技术研究发展计划资助项目 ( 2 0 0 2AA842 0 5 2 )，上海市重点学科建设基金资助项目，上海市自然科学基金资助项目 ( 0 2ZE14 10 1)，上海市纳米技术与产业发展促进中心资助项目
( 0 3 5 2nm0 43 |
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| 摘 要： | 报道了采用溶胶 -凝胶技术 ,结合碱 /酸两步催化和氨与水蒸气混合气体热处理技术 ,成功地制备了高孔隙率、耐磨和附着力好的纳米多孔SiO2 薄膜 .使用透射电镜 (TEM )、扫描电镜 (SEM)、原子力显微镜、椭偏仪等方法测量和分析了薄膜的特性 .实验结果表明 :通过控制实验条件实现了SiO2 纳米结构的人工控制 ,形成的薄膜折射率在 1.18～1.4 1之间连续可调 ;采用碱 /酸两步催化法明显提高了薄膜的力学性能 ,混合气体中的热处理进一步改善了薄膜的力学性能 ;薄膜增强归因于SiO2 颗粒间更多的Si—O—Si化学键连接
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶技术 SiO2 薄膜 纳米多孔结构 |
| 文章编号： | 0253-374X(2004)06-0836-05 |
Structurac Control and Strengthening of Nano Porous Silica Films |
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| WU Guang-ming ,CHEN Yan ,SHEN Jun ,ZHOU Bin.Structurac Control and Strengthening of Nano Porous Silica Films[J].Journal of Tongji University(Natural Science),2004,32(6):836-840. |
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| Authors: | WU Guang-ming CHEN Yan SHEN Jun ZHOU Bin |
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| Institution: | WU Guang-ming 1,CHEN Yan 2,SHEN Jun 1,ZHOU Bin 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel process SiO 2 thin films nano-porous structure |
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