| Si_3N_4/TiN纳米多层膜的超硬效应 |
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| 引用本文： | 许俊华,顾明元,李戈扬,金燕苹.Si_3N_4/TiN纳米多层膜的超硬效应[J].上海交通大学学报,2000(3). |
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| 作者姓名： | 许俊华 顾明元 李戈扬 金燕苹 |
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| 作者单位： | 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室!上海200030 |
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| 摘 要： | 采用磁控反应溅射工艺制备了Si3N4/TiN陶瓷纳米多层膜,运用X射线衍射、透射电镜和显微硬度仪等对纳米多层膜的微结构、应力状态和硬度进行测试.研究结果表明,Si3N4/TiN多层膜中,Si3N4层为非晶态,TiN层为晶态.Si3N4/TiN多层膜的显微硬度既受调制周期Λ的影响,同时又与调制比有关.当调制比lSi3N4/lTiN=3和调制周期Λ=12.0nm左右时,多层膜的显微硬度达到最大值,其数值比用混合法则计算的值高40%以上.根据实验结果,还提出了该体系出现超硬效应的机制
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| 关 键 词： | Si_3N_4/TiN 纳米多层膜 显微硬度 微结构 |
Superhardness Effects of the Si_3N_4/TiN Ceramic Nano Multilayer Films |
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| XU Jun hua,GU Ming yuan,LI Ge yang,JIN Yan ping State Key Lab. of MMCs,Shanghai Jiaotong Univ.,Shanghai ,China.Superhardness Effects of the Si_3N_4/TiN Ceramic Nano Multilayer Films[J].Journal of Shanghai Jiaotong University,2000(3). |
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| Authors: | XU Jun hua GU Ming yuan LI Ge yang JIN Yan ping State Key Lab of MMCs Shanghai Jiaotong Univ Shanghai China |
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| Institution: | XU Jun hua,GU Ming yuan,LI Ge yang,JIN Yan ping State Key Lab. of MMCs,Shanghai Jiaotong Univ.,Shanghai 200030,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Si_3N_4/TiN nano multilayer films microhardness microstructures |
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