| PLD法制备纳米氧化锌薄膜 |
| |
| 引用本文： | 陈素果,石念宝,姚合宝.PLD法制备纳米氧化锌薄膜[J].西北大学学报,2007,37(3):366-370. |
| |
| 作者姓名： | 陈素果 石念宝 姚合宝 |
| |
| 作者单位： | 西北大学物理学系，西北大学物理学系，西北大学物理学系 陕西西安710069，西安理工大学理学院，陕西西安710054，陕西西安710069，陕西西安710069 |
| |
| 基金项目： | 西安理工大学校科研和教改项目 |
| |
| 摘 要： | 目的研究制备高质量的纳米ZnO薄膜的最佳方案。方法通过反应条件和工艺参数的控制,用PLD法制备纳米氧化锌薄膜,对所制备的纳米氧化锌薄膜进行XRD谱研究,采用原子显微镜观察其形貌并研究氧化锌薄膜的各种光学性质。结果在激光脉冲能量为150 mJ、氧气压为20Pa条件下制备出了高质量的c轴择优取向的纳米氧化锌薄膜。结论制备工艺参数的控制对其性质有着极其重要的影响。
|
| 关 键 词： | 纳米氧化锌 制备 光致发光 |
| 文章编号： | 1000-274X（2007）03-0366-05 |
| 修稿时间： | 2006-06-11 |
Growing nano-ZnO films with PLD |
| |
| CHEN Su-guo,SHI Nian-bao,YAO He-bao.Growing nano-ZnO films with PLD[J].Journal of Northwest University(Natural Science Edition),2007,37(3):366-370. |
| |
| Authors: | CHEN Su-guo SHI Nian-bao YAO He-bao |
| |
| Abstract: | Aim To study the best scheme that can prepare higher quality nano-ZnO films.Methods Through controlling reaction conditions and technology parameter,prepare higher quality nano-ZnO films by using PLD method,study its XRD spectrum,and observe its pattern and the nature of nano-ZnO films throuth microscopes.Results The thin film that is prepared at 20Pa oxygen pressure and 150 mJ pulsed laser energy was highly c-axis oriented.Conclusion Control has an important effect on its quality. |
| |
| Keywords: | nanometer ZnO films preparation photolum inescence |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
