| 等离子体反应溅射淀积氧化铁膜及其气敏特性 |
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| 引用本文： | 林玉枝,姚圣康.等离子体反应溅射淀积氧化铁膜及其气敏特性[J].福州大学学报(自然科学版),1991(2):41-45. |
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| 作者姓名： | 林玉枝 姚圣康 |
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| 作者单位： | 福州大学物理系
(林玉枝)，福州大学物理系(姚圣康) |
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| 摘 要： | 本文介绍直接用Ｆｅ作靶材料，空气中的氧作反应气体，利用等离子体反应溅射淀积出氧 化铁簿膜．同时在Ｆｅ靶上挂所需掺杂元素的金属丝．可方便地实现掺杂．气敏检测结果表明，这 是一种酒敏材料．借助于ＸＲＤ、ＳＥＭ的分析和观察表明．在７５０℃左右热处理之前，簿膜是一种 非晶氧化铁结构．它与烧结型γ－Ｆｅ２Ｏ３或α－Ｆｅ２Ｏ３的结构不同，具有对乙醇的独特选择性．
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| 关 键 词： | 等离子体 氧化铁 气敏 |
Plasma-Activeted Reactive Sputtering Deposite Iron Oxide Films and Its Gas Response |
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| Lin Yuzhi,Yao Shengkang.Plasma-Activeted Reactive Sputtering Deposite Iron Oxide Films and Its Gas Response[J].Journal of Fuzhou University(Natural Science Edition),1991(2):41-45. |
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| Authors: | Lin Yuzhi Yao Shengkang |
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| Institution: | Department of Physics |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | plasma iron oxide gas response |
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