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| Taurus workbenchyong用于IC制造加工工艺的实验研究 | |
| 引用本文： | 侯国宪,李惠军,赵国庆.Taurus workbenchyong用于IC制造加工工艺的实验研究[J].河北理工大学学报（自然科学版）,2004,26(3). |
| 作者姓名： | 侯国宪 李惠军 赵国庆 |
| 摘 要： | 介绍了集成电路虚拟工厂系统Taurus Workbench.并基于CMOS工艺的特点,在Tau-rus Workbench环境下进行了亚微米级n沟器件的核心参数优化实验研究,结果印证了集成电路虚拟工厂技术为工艺优化提供了便捷有效的方法. |
| 关 键 词： | 集成电路虚拟工厂 阈值电压 仿真 优化 |
The experimental research of optimize manufacturing and procesing technique for IC on the taurus workbench |
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