超高速集成电路互连线的分布电容矩阵——测度不变方程法（MEI）解

提出了以测度不变主程法结合有限差分法求厚度多导体互连分布电容矩阵的一种方法，给出了获得测度不变方程的两种途径，即使用完全格林函和全电荷格林函数对测度子积分。后一种方法可用于解决一大类实际问题，有一定的通用性。