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| Taurus workbenehyong用于IC制造加工工艺的实验研究 | |
| 引用本文： | 侯国宪,李惠军,赵国庆.Taurus workbenehyong用于IC制造加工工艺的实验研究[J].河北理工学院学报,2004,26(3):53-57. |
| 作者姓名： | 侯国宪 李惠军 赵国庆 |
| 作者单位： | [1]河北理工学院冶金系,河北唐山063009 [2]山东大学信息科学与工程学院,山东济南250100 |
| 摘 要： | 介绍了集成电路虚拟工厂系统Taurus Workbench。并基于CMOS工艺的特点，在Taurus Workbench环境下进行了亚微米级n沟器件的核心参数优化实验研究，结果印证了集成电路虚拟工厂技术为工艺优化提供了便捷有效的方法。 |
| 关 键 词： | Taurus workbenehyong IC制造加工工艺 阈值电压 优化 仿真 集成电路虚拟工厂 |
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