| 离子束混合法制备Sm—Fe—N磁性薄膜 |
| |
| 引用本文： | 孙树滋,王强,张兆安,宋根宗,徐送宁,马腾才,宫泽祥.离子束混合法制备Sm—Fe—N磁性薄膜[J].大连理工大学学报,1997,37(2):231-233. |
| |
| 作者姓名： | 孙树滋 王强 张兆安 宋根宗 徐送宁 马腾才 宫泽祥 |
| |
| 作者单位： | 东北大学物理系，沈阳工业学院基础部，大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 |
| |
| 基金项目： | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室资助 |
| |
| 摘 要： | 利用离子束混合方法在Ｓｍ质量分数为２０％的Ｓｍ－Ｆｅ多层薄膜中，当注入能量为６０ｋｅＶ的Ｎ离子时，成功地制备出Ｓｍ－Ｆｅ－Ｎ磁性薄膜．经透射电镜（ＴＥＭ）和Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）分析发现：当Ｎ离子的注入剂量为１×１０１７／ｃｍ２时，形成Ｓｍ２Ｆｅ１７Ｎｘ磁性薄膜；而Ｎ离子的注入剂量为２×１０１７／ｃｍ２时，Ｓｍ－Ｆｅ多层薄膜转变成非晶磁性薄膜，而且Ｓｍ２Ｆｅ１７Ｎｘ磁性薄膜和Ｓｍ－Ｆｅ－Ｎ非晶磁性薄膜的磁性（饱和磁性强度、矫顽力）与注入前的Ｓｍ－Ｆｅ薄膜相比有明显的提高
|
| 关 键 词： | 离子注入 磁性薄膜 薄膜 离子束混合法 永磁体 |
Preparation of Sm Fe N magnetic film by ion beam mixing technique |
| |
| Sun Shuzi,Wang Qiang,Zhang Zao''''an,Song Genzhong.Preparation of Sm Fe N magnetic film by ion beam mixing technique[J].Journal of Dalian University of Technology,1997,37(2):231-233. |
| |
| Authors: | Sun Shuzi Wang Qiang Zhang Zao'an Song Genzhong |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | ion implantation magnetic films/Sm Fe N |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
