| 超声喷雾热解法制备AZO薄膜及其光致发光性能研究 |
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| 引用本文： | 王玉新,阎坤,丛彩馨,宋勇,孙景昌,吴齐,张兴元.超声喷雾热解法制备AZO薄膜及其光致发光性能研究[J].辽宁师范大学学报(自然科学版),2015(1). |
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| 作者姓名： | 王玉新 阎坤 丛彩馨 宋勇 孙景昌 吴齐 张兴元 |
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| 作者单位： | 辽宁师范大学物理与电子技术学院,辽宁大连,116029 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(11004092)；大连市科学技术基金项目 |
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| 摘 要： | 利用超声喷雾热解法以乙酸锌、硝酸铝为Zn、Al源配制前驱体溶液，按不同的Z n、A l原子比（1∶0．02，1∶0．03，1∶0．04，1∶0．05和1∶0．06）在单晶硅（100）衬底上制备出具有较好光致发光性能的ZnO ：Al（AZO）薄膜．采用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM ）和光致发光谱（PL ）表征了样品的晶体结构、表面形貌和光致发光性能．结果表明：所制备样品属于纤锌矿ZnO 结构，且择（002）取向生长，薄膜表面比较平整，具有较好的光致发光性能．并且Al掺杂量对AZO薄膜的紫外发射性能有重要影响，随着Al掺杂量的增加，紫外发射峰先蓝移后红移．在Zn、Al原子比为1∶0．04时得到的AZO薄膜结晶质量最好，蓝移量最大，光致发光性能最佳．
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| 关 键 词： | AZO薄膜 超声喷雾热解 光致发光谱 表面形貌 薄膜结构 |
Preparation andphotoluminescence properties of AZO thin films deposited by ultrasonic spray pyrolysis method |
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| WANG Yuxin,YAN Kun,CONG Caixin,SONG Yong,SUN Jingchang,WU Qi,ZHANG Xingyuan.Preparation andphotoluminescence properties of AZO thin films deposited by ultrasonic spray pyrolysis method[J].Journal of Liaoning Normal University(Natural Science Edition),2015(1). |
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| Authors: | WANG Yuxin YAN Kun CONG Caixin SONG Yong SUN Jingchang WU Qi ZHANG Xingyuan |
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| Keywords: | ZnO:Al thin films ultrasonic spray pyrolysis photoluminescence morphology the struc-ture of thin films |
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