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| 阵列式半导体湿敏元件机理研究 | |
| 引用本文： | 赵新杰,李蓉萍.阵列式半导体湿敏元件机理研究[J].内蒙古大学学报(自然科学版),1990,21(1):42-47. |
| 作者姓名： | 赵新杰 李蓉萍 |
| 作者单位： | 内蒙古大学物理系，内蒙古大学物理系，内蒙古大学物理系 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 湿敏元件 阵列式 半导体 多晶硅 |
The Investigation of Mechanism for Array Semiconductor Humidity Sensor |
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| Zhao Xinjie Li Rongping Ji Binghou.The Investigation of Mechanism for Array Semiconductor Humidity Sensor[J].Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Neimongol,1990,21(1):42-47. | |
| Authors: | Zhao Xinjie Li Rongping Ji Binghou |
| Institution: | Department of Physics |
| Abstract: | |
| Keywords: | Humidity sensor Array Polycrystalline silicon Surface Boundary Collision Molecule of water Phonon |
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