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| 微机械及微细加工方法的研究 | |
| 引用本文： | 于殿泓,魏正英,山本昌彦,郭俊杰,卢秉恒.微机械及微细加工方法的研究[J].西安理工大学学报,2001,17(1):74-77. |
| 作者姓名： | 于殿泓 魏正英 山本昌彦 郭俊杰 卢秉恒 |
| 作者单位： | 1. 西安理工大学机械与精密仪器工程学院, 2. 西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安交通大学 3. 日本国近畿大学 4. 西安交通大学 |
| 摘 要： | 基于光固化快速成型制造技术，结合光刻技术、牺牲层技术以及化学镀膜技术，研究了一种新型的微细加工方法，提出了非导电极板（光敏树脂固化物）镀膜的新方案，设计了一种有较大驱动位移的微型电容式激励器，并介绍了其加工制作的工艺流程。实验结果表明此微细加工方法是可行的，从而开辟了微细加工的新途径。 |
| 关 键 词： | 微细加工 快速成型 光刻 牺牲层 化学镀膜 微机械 |
| 文章编号： | 1006-4710(2001)01-0074-04 |
| 修稿时间： | 2000年5月19日 |
Research on Micro-Machine and Method of Micro-Fabrication |
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| YU Dian hong ,WEI Zheng ying ,GUO Jun jie ,LU Bing heng ,YAMAMOTO Masahiko.Research on Micro-Machine and Method of Micro-Fabrication[J].Journal of Xi'an University of Technology,2001,17(1):74-77. | |
| Authors: | YU Dian hong WEI Zheng ying GUO Jun jie LU Bing heng YAMAMOTO Masahiko |
| Institution: | YU Dian hong 1,WEI Zheng ying 1,2,GUO Jun jie 1,LU Bing heng 2,YAMAMOTO Masahiko 3 |
| Abstract: | Based on the photo curing rapid prototyping technology and in combination with the light photo etching technology, and sacrificial layer technology as well as electro less plating technology, a new method of micro fabrication is developed, and a new programme of electro less plating is suggested a capacitor micro actuator with big moving displacement is designed and the fabricating method for actuator is described. The experiment results indicate that the micro fabrication process is feasible whereby blazing a new way for micro fabrication. |
| Keywords: | micro fabrication rapid prototyping photo etching sacrificial layer electro less plating |
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