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| 硅的微机械加工技术 | |
| 引用本文： | 冯景星.硅的微机械加工技术[J].福州大学学报(自然科学版),1995(4):28-31. |
| 作者姓名： | 冯景星 |
| 作者单位： | 福州大学电子科学与应用物理系 |
| 摘 要： | 论述硅的各向同性腐蚀与各向异性腐蚀的工作原理，提出硅膜厚度的控制方法．实验中得出异向腐蚀时的最佳温度为９５℃，腐蚀速率ｖ＝１μｍ／ｍｉｎ。 |
| 关 键 词： | 各向异性 腐蚀 硅膜片 各向同性 |
Micromechanic Cutting Technique of Silicon |
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| Fen Jingxing.Micromechanic Cutting Technique of Silicon[J].Journal of Fuzhou University(Natural Science Edition),1995(4):28-31. | |
| Authors: | Fen Jingxing |
| Institution: | Fen Jingxing(Department of Electronic Science and Applied Physics, Fuzhou University, Fuzhou, 350002) |
| Abstract: | |
| Keywords: | anisotropic etchnique silicon diaphragm isotropic |
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