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对国内外多弹爆炸聚集效应研究现状进行了系统的总结,指出今后发展方向。研究钻地弹爆炸聚集效应,需要从能量耦合、侵彻爆炸耦合、应力波的相互作用以及岩土介质的状态方程和统一应力变关系等方面来进行考虑。 相似文献
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在EPW中采用(100)硅制作微悬臂梁凸角补偿及工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
(100)硅片在EPW腐蚀液中进行各向异性腐蚀时,因在(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率较高的晶面,使微悬臂梁凸角掩膜下的硅受到侧向腐蚀,出现严重的凸角削角现象.研究采用EPW腐蚀(100)硅片制作微悬臂梁的凸角补偿方法及制作工艺,给出采用圆形掩膜对(100)硅凸角进行补偿.实验结果表明,该方法能够较好的完成对EPW腐蚀液中悬臂梁凸角削角的补偿。 相似文献
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