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本文研究了Ta-Cl_2-H_2体系在45钢表面化学气相沉积钽涂层工艺,讨论了钽的沉积速度与温度、五氯化钽和氢气压力之间的关系。本文还扼要介绍了用金相、x射线衍射和电子探针分析等方法测定涂层结构的研究结果。腐蚀试验结果表明,涂层样品在37.7%HCl,63%H_2SO_4介质中具有很高的抗蚀能力,其腐蚀速率比未涂层的可降低2~3个数量级。 相似文献
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