排序方式: 共有1条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
TiN/AlN纳米混合膜的微结构及力学性能 总被引:6,自引:3,他引:3
通过双靶轮流反应溅射的工艺方法制备了TiN/AlN纳米混合膜.采用XRD衍射、TEM和显微硬度等测试方法对TiN/AlN纳米混合膜的微结构和力学性能进行了研究.结果表明,TiN/AlN纳米混合膜的晶粒大小为10~20nm;薄膜总体表现出硬度增强效果,在TiN∶AlN(体积比)≈1∶1时,薄膜硬度获得极大值HK32.25GPa. 相似文献
1