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微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒 总被引:1,自引:0,他引:1
热力学计算表明,H2,N2的过量有助于提高TiN的产率,但能耗也相应增加。为此考察了温度,流量,TiCl4携带量,混合方式对产物性能的影响。结果表明,流量增加,温度升高,TiCl4携带量增加,混合愈好,则产物粒径愈小。在此基础上采用微波等离子体化学气相沉积法,合成了粒径为123-284nm的TiN超细颗粒 相似文献
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