排序方式: 共有2条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
2.
光学外差法检测超光滑表面粗糙度 总被引:1,自引:0,他引:1
随着加工技术的发展,超光滑表面粗糙度的测量变得越来越重要.讨论了一种利用光学外差法检测超光滑表面粗糙度测量系统,采用Zeeman效应激光管得到差频光束,提出了新的优化测量光路.该光路仅使用一个半波片改变一路光束的偏振态,不仅克服了以前广泛使用的类似测量系统中光路具有可逆性的缺陷,保证了系统的稳定性,且同时使接收端光束的偏振态方向一致,使干涉信号可见度最大,提高了系统的信噪比和测量精度.采用两光束同心聚焦扫描方法可实现表面粗糙度的绝对测量.光路结构简单,实用性强.通过样品测量研究了本系统的测量稳定性和测量精度.结果表明,系统对表面粗糙度测量精度均方根值小于1nm. 相似文献
1