用三光束干涉法测量薄膜厚度

本文用三光束干涉法非接触地测量了薄膜厚度.该方法把位于中间的零级光作为测试光束,位于两侧的±1级光作为参考光束,不但具有精度高的特点,而且稍作改进还能用于其它多种参数的测量.     

高斯光波和平面光波聚焦特性的评价

从衍射理论出发研究了平面光波和高斯光波通过光学系统孔径的聚焦特征，对其轴上点强度分布和焦面强度分布进行了定量比较，最后，用斯特列尔比对像差光学系统的聚焦特性进行了评价。