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ISG工艺合成SrTiO3纳米粒子薄膜 总被引：7，自引：0，他引：7
采用ＩＳＧ工艺,在氧化铝陶瓷基片上合成ＳｒＴｉＯ３陶瓷薄膜,研究了溶胶性能和溶胶－凝胶的晶化过程,分析了薄膜的形成及结构。结果表明,ＳｒＯ－ＴｉＯ２复合氧化物系统由凝胶向的单一的立方ＳｒＴｉＯ３相,ＳｒＴｉＯ３陶瓷薄膜晶粒为１０ｎｍ左右。 相似文献
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采用 ISG工艺 ,在氧化铝陶瓷基片上合成 Sr Ti O3陶瓷薄膜 ,研究了溶胶性能和溶胶 -凝胶的晶化过程 ,分析了薄膜的形成及结构 .结果表明 ,Sr O- Ti O2 复合氧化物系统由凝胶向结晶相的转变过程中 ,无简单氧化物等中间相生成 ,经 40 0～ 80 0℃ ,0 .5 h,可生成结晶度较好的单一的立方 Sr Ti O3相 .Sr Ti O3陶瓷薄膜晶粒为 1 0 nm左右 . 相似文献
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