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用脉冲准分子激光在P-Si(100)衬底上沉积高取向KTN薄膜 总被引:7,自引:0,他引:7
利用Sol Gel法制备了优质KTN陶瓷靶材 ,用PLD技术成功地在P Si(10 0 )衬底上沉积出了较纯净钙钛矿相 (>98% )的KTN薄膜 ,并对所制备的薄膜进行了XRD ,SEM分析 相似文献
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