刀口位置误差对激光光束漂移测量精度的影响

本文对刀口法激光光束漂移测量系统中刀口位置误差进行了分析，分析表明，在刀口位置误差中，Ｚ和△Ｚ对测量精度的影响最大。利用微调机构可以消除Ｚ的影响，△Ｚ的影响需采用高精度对焦机构来减小或消除，该分析对指导实验过程和完善系统设计具有指导意义。