检查集成电路光刻掩模的实时白光信息处理系统

本文介绍一种用空间滤波检查集成电路光刻掩模的实时白光信息处理系统.采用该系统作检查比传统的镜检法或相干光学处理技术更为简便,且效果显著.借助这种技术能明显地察觉到掩模里的黑点、针孔、刻痕、电路损缺、短路或断路等微小缺陷.     

白光相衬实验

在相衬实验中,设相板中心波长使相板有π/2的相移,通过理论分析,得到:(1)单色光波长偏离相板中心波长越远,相衬像对比度越低;(2)准单色光相衬像对比度与谱带宽度及准单色光波长与相板中心波长偏移量有关;(3)在一定条件下,白光相衬像的光强分布与相应的单色光相衬像的光强分布一致.若选择合适的实验条件,可使像对比度取最大值.实验结果与理论一致.