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利用微电铸制作镍悬臂梁 总被引：1，自引：0，他引：1
为了设计出导电的Ni微变截面悬臂梁，采用了基于成熟的电镀技术的微电铸工艺．在分析悬臂梁的变截面结构和搭建微电铸试验平台之后，设计了整个工艺流程，利用近紫外线厚胶光刻、Ni微电铸、去除牺牲层等工艺实现了悬臂梁的制作．工艺实验结果表明，整个变截面悬臂梁的铸层表面没有缺陷，但不同微电铸面积的基座、粗梁、细梁的铸层厚度不均匀，其中，铸层面积最大的基座铸层最厚，面积次之的粗梁的铸层厚度居中，面积最小的细梁的铸层最薄．实验证明在一定范围内增大占空比和降低电流密度可以抑制这种厚度不均匀现象． 相似文献
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为了有效地减少LPG(液化石油气)发动机的尾气排放,设计了空燃比闭环控制原理,分析了PI控制策略的具体实现过程,最后给出了试验结果,结果表明:闭环控制和PI策略的结合可以将空燃比稳定在理论值附近,从而大大降低了3种尾气的排放. 相似文献
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