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本文主要研究了加速度传感器芯片的湿法加工技术,主要包括KOH腐蚀中凸角补偿图形设计,引线电极保护技术,TMAH腐蚀技术等内容。本文设计了合理的凸角补偿图形,能够制作出完整的凸角结构。本文结合实际工艺中遇到的问题,讨论了湿法加工技术中引线电极的保护方法,包括TMAH腐蚀技术的应用。制作出的加速度传感器芯片灵敏度大于0.1mV/g,非线性优于1%,横向灵敏度比小于3%。 相似文献
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介绍了Ｃ５０ＤＳＫ的基本框架,利用它构建３２０＊２００大小的视频图像采集系统,详细说明了Ｃ５０与高速ＡＤＣ ＴＬＣ５５１０和慢速ＳＲＡＭ ＴＣ５５１００１的接口技术,从中了解ＤＳＰ与ＡＤＣ和存储器的接口方法以及Ｃ５０ ＤＳＫ软硬件的使用。 相似文献
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