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工程中常用的几种氧化沟及其发展 总被引:2,自引:0,他引:2
简要介绍了当今工程中常用的几种氧化沟技术的特点及其发展历程,主要包括Carrousel氧化沟、Orbal氧化沟、交替式氧化沟以及一体化氧化沟。 相似文献
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