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1.
金刚石厚膜的制备方法及应用展望
张金旭
任志东
毕道广
张得恩
齐志娜
余海翔
任瑛
《河南科技》
2015,(4)
热丝化学气相沉积是制备金刚石厚膜的传统方法,但是所得到的金刚石厚膜成品率低,限制了其作为刀具和散热片的应用。本文针对此方法进行设备改造,采用复合技术-射频等离子体辅助热丝化学气相沉积(RF-HFCVD)提高金刚石厚膜的沉积速率和质量。同时,对金刚石厚膜的应用及展望进行了简要综述。
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