基于高效磨削的新型柔性砂轮研究

提出一种基于高效磨削的新型免修整型柔性砂轮。采用气囊式内胎和连接式弹簧环结构减少磨削中振动影响,便于控制砂轮表面砂带的张紧力。实验表明该砂轮具有高的磨削效率和精度。     

集成电路基板研磨表面误差自动修正技术

针对现有ＬＳＩ基板研磨过程中,表面误差修正中存在的问题,提出了一种表面误差自动修正系统。该系统采用激光技术测量研磨中的基板表面状况;并以此为基础建立加工状况数据库,同时采用楔形机构对基板表面误差修正控制。