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氧化铌靶材广泛应用于变色玻璃及低辐射玻璃镀膜,用于制备靶材的氧化铌要求有较高的振实密度。为提高氧化铌产品的振实密度,采用聚乙烯醇(PVA)黏结剂混合氧化铌粉体、压块,真空烧结炉于1 200℃高温烧结3 h,然后进行粉碎过筛,制备出黑色的铌氧化物粉体;并用XRD、TEM等手段对粉体物相、成分,颗粒大小及微观形貌进行了研究,同时对粉体粒度分布、振实密度及氧含量进行了测试。结果显示粉体D50=6.64μm,振实密度2.28 g/cm~3,失氧量为粉末中总氧含量(质量)的13.6%,铌氧化物分子式接近Nb O_2,达到喷涂靶材用原料质量要求。 相似文献
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