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1
1.
N离子注入非晶碳膜的CN成键研究
林景波
李俊杰
李哲奎
顾广瑞
盖同祥
金哲
胡超权
吕宪义
金曾孙
《吉林大学学报(理学版)》
2005,43(3):324-327
利用Raman和XPS研究N离子注入前后非晶碳膜化学键 合的变化及CN成键情况. 结果表明, 被注入到非晶碳膜内的N与C原子结合, 形成sp
3
C-N, sp
2
C-N 和C≡N键. 随着N离子注入剂量的增加, 膜内sp
3
C-N键的含量相对增多, 表明N离子注入更有利于sp
3
C-N键的形成.
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