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采用PECVD方法制备Fe2O3／SnO2双层气敏薄膜，利用浸渍方法对稀土元素（La，Nd，Sm，Er，Yb）与铝配制的乳浊液进行表面修饰．测试结果表明，修饰后的双层薄膜对乙醇或丙酮具有较高的灵敏度与选择性。 相似文献
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提出了新的测试电路，配合函数记录仪，实现了敏感元件的自动加热，多功能敏感特性的自动测试与记录 相似文献
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稀土元素修饰双层薄膜的气敏特性 总被引：1，自引：0，他引：1
采用ＰＥＣＶＤ方法制备Ｆｅ２Ｏ３／ＳｎＯ２双层气敏薄膜。利用浸渍方法对稀土元素与铝配制的乳浊液进行表面修饰。测试结果表明，修饰后的双层薄地乙醇或丙酮具有较高的灵敏度与选择性。 相似文献
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报道了利用ＰＥＣＶＤ技术在Ｐ－Ｓｉ衬氏抛光面上淀积含Ｃ６０聚合薄膜及在薄膜表面蒸金形成Ａｕ／Ｃ６０－Ｐｏｌｙｍｅｒ／Ｐ－Ｓｉ结构。 相似文献
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报导了用两只气敏元件同时测出空气中同一微量有害气体的电阻-浓度曲线,并利用最小二乘法拟合为两条直线,将其拟合斜率比ε_j与拟合后的差值δ_(ji)做为判据,判定空气中微量有害气体种类与浓度的拟合法。 相似文献
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报道了利用ＰＥＣＶＤ技术在Ｐ－Ｓｉ衬底抛光面上淀积含Ｃ６０聚合物薄膜及在薄膜表面蒸金形成Ａｎ／Ｃ６０－Ｐｏｌｙｍｅｒ／Ｐ－Ｓｉ结构．通过常温及温偏处理后的不同Ｃ－Ｖ特性，推算了聚合物薄膜中的几种电荷密度和介电常数，并对经过温偏处理后Ｃ－Ｖ曲线的畸变做了讨论． 相似文献
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